中古 AIXTRON G2 #9222131 を販売中

AIXTRON G2は、金属ボックスフレームと様々なコントローラとサンプルホルダー構成を備えたモジュラーおよびアップグレード可能な蒸着装置です。このシステムは、金属有機化学蒸着（MOCVD）、またはより一般的に金属有機蒸着（MOD）のために設計されています。高品質のマルチクォンタムウェルIII-V半導体デバイスの効率的な生産のために設計されています。装置の主成分は、圧力モニターを備えた金型前駆体導入用のRF駆動プラズマ源、サンプルやウエハを素早く解放・交換する機構を備えた2軸サンプルホルダー、最大12インチの基板を支えるワーク台で構成されています。この機械はまた、蒸着チャンバのマルチゾーン大気制御を提供し、正確な生産結果を保証します。G2は幅広いプロセスレシピをサポートしており、リン変換LED （PC-LED）、窒化ガリウム（GaN）デバイス、高度ドープ基板、ナノワイヤ、量子井戸構造など、さまざまな用途に対応できます。このツールはさらに、可変蒸着速度と調整可能なRF電力を含む、ゾーン固有のプロセス制御オプションを多数備えています。これにより、薄膜結晶型テンプレートの成膜能力が向上し、デバイス製造に関わる様々なプロセスをサポートします。このモデルには、高度な監視および制御装置も装備されています。このシステムにより、ユーザーはリアルタイムで進行状況を監視することができ、プロセスパラメータをリモートで調整することもできます。また、ユーザーはレシピを保存してリコールし、プロセスレシピを最適化することができます。機械のメンテナンスと修理のために、AIXTRON G2はオンサイトサポートとメンテナンスサービスを提供しています。これにより、ツールの拡張使用後でも一貫した生産パフォーマンスが保証されます。全体として、G2は幅広い機能とプロセス機能を備えた信頼性の高いモジュラーおよびアップグレード可能な堆積資産です。高品質なIII-Vデバイスの効率的な生産を可能にしながら、プロセスの安定性と一貫性を提供するように設計されています。