中古 AIXTRON Crius #9184896 を販売中

AIXTRON Criusは、AIXTRONによって開発・製造された高温化学蒸着（HTCVD）原子炉です。クリウス原子炉は、さまざまな高品質の蒸着プロセスを使用して、大面積の薄膜とナノ構造デバイスの生産のために設計されています。この原子炉には、基板やサンプルへの容易なアクセスを可能にする、完全に透過性のあるトップハット型クォーツチャンバーが装備されています。AIXTRON Criusは有機発光ダイオード（OLED）や薄膜太陽電池などの研究開発用途に最適です。クリウスは400°Cまでの温度で動作する信頼性の高い効率的な原子炉です。AIXTRON特許取得済みのマルチポイント点火システムを搭載し、迅速な起動と簡単なクリーニングとメンテナンスプロセスを可能にします。また、AIXTRONの高度なプロセス制御ソフトウェアを使用するように設計されており、迅速かつ正確なプロセスパラメータのチューニングが可能です。AIXTRON Criusは完全に自動化された積み下ろしシステムを備えているため、基板を数分で室内外に移動できます。統合されたRFの発電機は均一で、有効な結果を達成するために高レベルの力を提供することを容易にします。クリウス原子炉は蒸留室とサセプトメータラックで強化されており、異なる材料の化学的および物理的特性を迅速に分析することができます。さらに、AIXTRON Criusリアクターは、AIXTRON先進のガス供給システムと互換性があり、反応ガスを容易かつ安全に取り扱うことができます。Criusは、1時間あたり400ウェーハまでの高速生産速度を誇り、量産作業に最適なソリューションです。リアクターは、セットアップとメンテナンスの要件を最小限に抑えて、既存の生産ラインに簡単に統合できます。この原子炉は、幅広いプロセス要件を満たすように設計されており、シラン、シロキサン、ハロゲン化学に基づく蒸着プロセスに使用することができます。さらに、AIXTRON Criusは、ガス検知器、火災検知器、過圧保護、絶縁プロセスガス供給ラインなど、多くの安全機能を備えています。要約すると、Criusは非常に汎用性の高いHTCVDリアクタであり、正確で繰り返し可能な結果を提供します。自動ローディングシステム、安全機能、およびプロセス制御ソフトウェアを搭載し、高品質の薄膜およびナノ構造デバイスの大規模な工業生産に最適です。