中古 AIXTRON Crius #9184895 を販売中

AIXTRON Criusは、さまざまな半導体プロセスに使用できる化学蒸着（CVD）炉です。Criusは、他の古典的なCVD炉が達成できるよりも低温および圧力で大きな領域にわたって高い蒸着率を提供するように設計されています。この原子炉はまた、市場で最も低い運用コストを提供しています。この原子炉は、二重シャワーヘッド配置を利用して、堆積プロセスの均一性を高めます。この構成は、気体の流れをチャンバーの両側に均等に浸透させ、チャンバー内に堆積した材料の量の変化を回避します。回転する円形のシャワーヘッドを使用すると、チャンバーの端での蒸着プロセスの滑らかさが大幅に向上します。AIXTRON Crius原子炉は、最大1,500°Cの様々な半導体プロセスで必要な温度に達することができます。Criusには3つのRFコンデンサが装備されており、in-situプラズマ生成用に構成されているため、より高い原子炉の性能とより高い材料密度を処理する可能性があります。この原子炉は、プロセスパラメータに応じて、5mBar〜6。7 barの圧力範囲で動作できます。AIXTRON Criusはまた、ガス構成の広い範囲を提供しています、さまざまなアプリケーションを可能にします。強化されたプロセス制御オプションには、自動チャンバーのパージ、自動ガススイッチング、リアルタイムプロセス監視などがあります。また、クリウスはAXR SDKソフトウェアスイートと互換性があり、原子炉をより大きな環境に統合することを容易にします。このソフトウェアには、高度な異物検出機能と、生産性モニタリング、部品依存のネスティング、高度なルート計算を組み込んだエンドツーエンドのデータ取得機能が含まれています。AIXTRON Criusは、低い運用コストと高度なプロセス制御と強力なソフトウェアスイートを備えており、半導体および太陽電池の処理に最適です。