中古 AIXTRON Crius-R #9260376 を販売中

AIXTRON Crius-Rは、AIXTRONが高純度化合物半導体の製造のために設計・開発したエピタキシャルリアクターです。これらの半導体には、様々なヒ素ガリウム（GaAs）、リン化インジウム（InP）、アルミニウムガリウム（AlGaAs）が含まれます。この原子炉は、幅広い成長パラメータを可能にし、生産規模と研究グレードの両方の用途向けに設計されています。Crius-Rエピタキシャルリアクターは内部サセプターを使用しないため、高品質のエピタキシャルレイヤーの製造に適しています。また、増殖プロセスの前後にウォームアップやクールダウン時間を必要とせず、大量生産の高いスループットを実現します。また、原子炉の効率的な設計により、高いプロセス再現性と再現性を提供します。AIXTRON Crius-Rエピタキシャルリアクターには、エピタキシャル層のエンドポイント検出を可能にする独自の水晶マイクロバランス（QCM）センサーが装備されています。この改善されたエンドポイント検出により、成長プロセスの制御が改善され、成長したレイヤーの品質が向上します。クリウス-Rはまた、革新的なガス入口と独立した制御を備えています。さらに、原子炉は冷却モジュールを内蔵しており、成長温度を劇的に低減し、基板の寿命を大幅に改善します。AIXTRON Crius-Rエピタキシャルリアクターは、運転中の危険な状況のリスクを低減するために、多くの統合された安全機能を備えています。この原子炉には、高品質の結果を保証するために成長プロセスを監視するためのさまざまな診断機能も含まれています。結論として、Crius-Rエピタキシャルリアクターは生産規模と研究グレードの両方の用途のために設計されており、高純度化合物半導体の開発と製造のための効率的で信頼性の高いツールを研究者とエンジニアに提供しています。統合された安全機能とQCセンサーはエピタキシャルプロセスを最大限に制御し、高い再現性と再現性を実現します。