中古 AIXTRON Crius II #9272520 を販売中

AIXTRON Crius IIは、大容量のシリコンおよび化合物半導体製造用に設計された、デュアルソース、最先端のMOCVDリアクタです。コンパクトな設置面積と使いやすい作業面を誇ります。多くの革新的な機能を備えたCrius IIは、プロセス強化の利点を提供し、高速ウェーハ転送、高いスループットレート、手動および自動制御オプションを備えています。AIXTRON Crius IIは、シリコン基板/ウェハ、高効率太陽電池の製造、LED製造、MEMS/MOEMS、 3D ICおよびHC GRINレンズの製造用に特別に設計されています。Crius IIは精密コーターと計測システムを提供し、プロセスの再現性を高めます。高度な独立したデュアルソース機器により、個々のアプリケーションの成長条件を正確に最適化でき、歩留まりの向上とサイクルタイムの短縮をサポートします。ガス源などの各ソースは、独自の特定の条件セットを作成することができ、システムのパフォーマンスを最大限に最適化する柔軟性を提供します。AIXTRON Crius IIは、複雑な構造の多層蒸着を可能にする高効率で構成可能なマルチリアクター設計も備えています。高度な光干渉計は、プロセスチューニングの双方向サポートを提供します。このユニットはリアルタイム波長と強度制御を備えており、プロセスを動的に最適化することができます。さらに、Crius IIは光学フィルタ測定用の専用反射測定ソリューションを提供し、沈着プロセスの継続的な光学モニタリングを提供します。AIXTRON Crius IIは、幅広い安全機能を備えています。その気候制御の設計はプロセス性能を高めるために閉鎖ループ、圧縮空気冷却機械を特色にします。さらに、Crius IIは、AIXTRONグローバルサービスチームからのサポートを可能にする高度なリモートアクセスデバッグ機能を備えています。全体として、AIXTRON Crius IIは信頼性が高く、堅牢なオールインワンMOCVDリアクタであり、高性能、拡張性、およびユーザーの柔軟性の利点をメーカーに提供します。高スループット、高精度プロセス、安全機能、高度な光学モニタリングを備えたCrius IIは、大容量の化合物半導体基板の製造に最適です。