中古 AIXTRON Crius II #293607523 を販売中

AIXTRON Crius IIは、先進的な半導体とLEDの研究開発のために特別に設計されたAIXTRON社の原子炉です。Crius IIは、デュアルサブストレートMOCVD、シングルウェーハシャワーヘッド、グリーブルシミュレータの3つのモジュールのシーケンスで、ユーザーは成長と蒸着方法の正確な測定を行うことができます。Dual Substrate MOCVDリアクターは、分子ビームエピタキシー（MBE）と金属有機化学蒸着（MOCVD）を利用できる装置です。このシステムは、プログラム可能なバルブと一連の真空ポンプを使用して、より高い成長率を生み出し、コストを削減し、効率を向上させます。この原子炉は、MBE、 MOCVD、およびオートクレーブ補助エピタキシャル成長の3つの方法でエピタキシャル成長が可能である。リアクタは、モノレイヤー、マルチレイヤー、3D構造用に最大8つのソースに構成することもできます。シングルウェーハシャワーヘッドを使用すると、wi40aferアップデートと基板変更の間のダウンタイムを最小限に抑えて、ウェーハレベルで高品質の材料層を堆積することができます。特許取得済みの回転ディスクは、手動で介入することなく、ウェーハ全体に均一な堆積を可能にします。Gleebleシミュレータはまた、異常なプロセスの自動シャットオフの利点を追加して、ユーザーに温度プロファイルと熱プロセスをシミュレートする機能を提供します。シミュレータには圧力ユニットが装備されており、ユーザーは機械内のイベントの処理雰囲気と監視を制御することができます。AIXTRON Crius IIプラットフォームは、高度な半導体とLEDの開発のための汎用性と強力なツールです。半導体業界では標準的なツールとなっており、幅広い研究、開発、生産アプリケーションで使用されています。原子炉は信頼性と費用対効果が高く、ユーザーに高い柔軟性を提供します。