中古 AIXTRON Crius I #9188566 を販売中

AIXTRON Crius Iは、半導体および光電子デバイスの開発および製造に使用するために設計された先進的なエピタキシャルリアクターです。この原子炉は、20年以上にわたり精製されてきたAIXTRONのフラッグシップ金属有機化学蒸着（MOCVD）技術を利用しています。Crius Iは、ハイスループットと容易なスケーラビリティのために設計されたシングルウェーハ、バッチプロセスツールです。AIXTRON Crius Iは、12,000rpmの最大チューブ回転速度と14ポジションカセットのローディングとアンロードステーションを備えた垂直、マルチチューブの原子炉です。反応室には13°ベベルのAIXTRONシグネチャー低振動ビーム（SLVビーム）が装備されています。これにより、処理されるウェーハに均質で微細な表面仕上げが可能になり、ディッシュウェーハのエッジを大幅に低減できます。さらに、Crius Iはホットウォールサセプターを備えており、優れた制御と精度で最大1100°Cの温度で動作できます。AIXTRON Crius Iは、幅広いプロセス化学およびドーパントガス化学を可能にする拡張可能なシステムです。少量生産と大量生産の両方に対応でき、スタンドアロン構成とクラスタ構成の両方を提供します。FlexModeを使用すると、2つのプログラム間でツールリアクタチャンパラメータをすばやく変更でき、長い介入を行うことなく、プロセスレシピを中間的に変更できます。Crius Iは独自のプロセス制御ソフトウェア（Turbo SoftTune）を使用しており、シンプルでメニュー駆動の操作を可能にしています。インテリジェントアダプティブコントロール（IAC）は、特定のアプリケーションの適切な動作パラメータにホーンするように設計されたアクティブパラメータの検出と修正により、これをさらに向上させます。また、AIXTRON炉の技術をレトロフィットさせることができ、結晶成長とデバイス製造の垂直統合を可能にします。要約すると、AIXTRON Crius Iエピタキシャルリアクターは、半導体および光電子デバイスの開発と製造のための先進的なリソースです。高いスループット、低い振動ビーム、およびホットウォールサセプター技術を提供し、繊細なプロセスのための複雑な制御を可能にします。高度なプロセス制御システム、拡張可能なアーキテクチャ、柔軟な動作モードにより、信頼性の高いファミリ・リソースとなります。