中古 AIXTRON Crius 31x2" #9383394 を販売中

AIXTRON Crius 31x2は商業スケールの金属有機化学蒸着（MOCVD）の原子炉です。世界有数の垂直2インチリアクターであり、シングルウェーハ200mmウェーハの製造が可能です。この原子炉は、半導体およびエレクトロニクス産業向けの先端機器のグローバルリーダーであるAIXTRONによって製造されています。Crius 31x2は、スプリットアーク誘導コイル、ラウンドセラミックるつぼ、固定バイポーラRFジェネレータ、ロードロックウェハハンドリングシステムを備えています。Crius 31x2で使用される誘導技術は、窒化物と酸化物の堆積に優れた均一性を提供します。ラウンドセラミックるつぼはまた、単層および多層ウェーハの両方に薄膜を均一に蒸着するための高温均一性を提供します。Crius 31x2には温度制御システムとコンピュータ制御も装備されています。この機能により、正確な温度制御が可能になり、最適な均一性と蒸着結果が保証されます。この原子炉の圧力制御機能は、歩留まりの増加と廃棄物の削減を可能にします。さらに、原子炉には高度な自動化が施されており、操作プロセスを簡素化し、より速く、より正確なウェーハ製造を可能にします。Crius 31x2は、高級ステンレス鋼で作られているため、腐食やその他の環境上の危険に対して非常に耐性があります。さらに、原子炉は優れた断熱性を備えており、エネルギー消費と効率の向上を可能にします。また、Crius 31x2には最先端の安全機能が搭載されており、原子炉が人員や周囲の環境を管理するための安全性を確保しています。それは装置の損傷を防ぐために電気扱われた保護ドアを特色にし、人員の安全を保証します。さらに、Crius 31x2は、より長いプロセス実行で幅広いアプリケーションを提供するように設計されています。より厚い材料に高い蒸着率を導入することで、より効率的な製造プロセスを実現します。さらに、この原子炉は優れたツール検査能力を備えているため、ダウンタイムが少なくなり、技術的な問題を診断し解決する時間が短縮されます。全体として、AIXTRON Crius 31x2は、単層および多層ウェーハ上の薄膜および厚膜の製造にさまざまな利点を提供する高度な金属有機化学蒸着炉です。その高度な技術、優れた均一性、高度な安全機能、および自動化により、製造プロセスが簡素化され、生産性と歩留まりが向上します。