中古 AIXTRON Crius 31x2" #9364569 を販売中

AIXTRON Crius 31x2は、高性能で費用対効果の高いデバイス製造を可能にするために特別に調整された高度で信頼性の高いMBE®リアクター装置です。この原子炉は、オプトエレクトロニクスおよびナノスケールの幅広い材料と部品を一貫して生産するように設計されています。Crius 31x2には、効率的で成功した生産を保証するさまざまな機能が装備されています。最大8つの荷重の大きなウェーハボート容量を持ち、より大きな品種の迅速な生産を可能にします。二段式の中間圧力容器と調節可能なターボポンプにより、デュアルモード動作が可能になり、薄膜と厚膜の両方のデバイスの生産が容易になります。さらに、原子炉のクロム内室壁は、優れたパージ効率とシステムパラメータの均一性を確保し、可能な限り最高の収率を確保します。Crius 31x2は、市場のあらゆるMBE原子炉の最高品質とプロセスの柔軟性を提供します。その高度な温度管理ユニットは、優れた熱安定性を保証し、正確な温度制御を可能にします（200ºCから1200ºCまでの温度範囲）。原子炉はまた、最高の安全基準に準拠するように設計されています。PLC連結プロセス制御システムは、電流、電圧、温度を測定するセンサと結合して安全な動作を保証します。また、Crius 31x2は、追加のロードロック、チャンバー、ガス、フィードユニット、RFアンテナなどのさまざまな汎用性と拡張性オプションを提供し、究極の柔軟性を提供します。さらに、原子炉は、ランプアップ時間を最小限に抑えて、簡単かつ迅速に設置できるように設計されています。インストール時に、ユーザーはソフトウェア統合されたリモートメンテナンスに依存して、リアタルマシン内のパラメータを監視、管理、および調整することができます。全体的に、AIXTRON Crius 31x2は、包括的で信頼性の高いMBEリアクタツールであるように設計されています。その高度な機能と汎用性の高いオプションにより、オプトエレクトロニクスおよびナノスケールのデバイス製造に最適です。