中古 AIXTRON Crius 31x2" #9350512 を販売中

AIXTRON Crius 31x2は、ドイツの半導体加工専門機器メーカーであるAIXTRON GmbHによって設計された原子炉です。Crius 31x2は、高度な半導体および光電子材料の製造に使用される高出力の水晶金属有機蒸気相エピタキシー（MOVPE）装置です。これは、大面積の基板の堆積を可能にするために、垂直および水平のガスの流れの両方を備えています。この原子炉は、高いスループット、低熱勾配、低基板の損傷を特徴としています。Crius 31x2には2つの同じバッチ炉があり、それぞれ1つの石英成長室、2つの独立したガス供給システム、1つの石英基板ホルダーで構成されています。成長チャンバーは直径22cm、長さ90cmで、最大2つの4インチまたは3つの6インチの直径基板を処理することができます。成長チャンバには、AIXTRON CDS500デジタルシステムコントローラ、CDS600高度プロセスコントローラ、およびVital-View3xソフトウェアが装備されており、MOVPEの成長に必要なパラメータを正確に制御できます。AIXTRON Crius 31x2は、他のMOVPEシステムよりも大幅に高いスループットで高度な材料の高歩留まり蒸着をユーザーに提供します。原子炉内の熱勾配を極めて低く保ち、表面や基板の損傷を低減する特殊ガス分配装置を装備しています。AIXTRON Crius 31x2は、LED、レーザー、光検出器、太陽電池などの高品質で高性能な化合物半導体材料および光電子デバイスの製造に使用されています。また、誘電体、金属、合金などの薄膜の成膜にも使用されています。全体として、AIXTRON Crius 31x2は高度で信頼性の高いMOVPEリアクターで、光電子デバイスやその他の先端材料の製造に優れた性能を提供します。高スループット、低熱勾配、低基板ダメージの組み合わせにより、高品質で高性能な材料を製造できます。