中古 AIXTRON Crius 31x2" #9186418 を販売中

AIXTRON Crius 31x2は、広範囲の産業用途に適した31x2インチチャンバーを備えた垂直方向の誘導結合型プラズマリアクターです。エッチング、成膜、その他の表面処理プロセスに使用できます。これは、プロセスから高品質の製品を達成するために探している人のための強力で信頼性の高いソリューションであるように設計されています。Crius 31x2システムは、さまざまな業界やアプリケーションに適した多くの機能を提供しています。高度なRFジェネレータ、ガス噴射システム、正確な温度、圧力、プラズマ制御、および高度なウェーハ輸送ユニットが装備されています。また、高度なデータロギングとレポート機能を備えており、製造プロセスの監視と最適化に役立ちます。Crius 31x2は頑丈なチャンバー設計で、大きなウェーハの処理と高いスループットレートを可能にします。標準の8インチサセプターを装備しており、必要に応じてより大きなウェハにアップグレードすることができます。この機械は、隕石エッチングや誘電体の蒸着など、高精度で再現性を必要とするプロセスに最適です。このツールは、標準的なエッチングガス組成から誘電体、貴金属まで、多くの特殊なプロセスガスを使用しています。ガスは空気圧バルブとマルチポートガス注入システムを介してチャンバーに注入され、正確なガス制御と計量が可能です。チャンバー内で発生する低圧プラズマは特殊なRFジェネレータを使用して維持され、正確な制御と優れた結果を得ることができます。Crius 31x2には、高度なウェーハ輸送資産が装備されており、チャンバーの自動ロードとアンロードが可能で、プロセスのスピードアップと手作業の削減に役立ちます。また、特殊な圧力制御モデルを搭載しており、チャンバー圧力を一定レベルに保ち、プロセスの再現性を向上させます。全体として、AIXTRON Crius 31x2は、さまざまな産業向けの高品質の製品の製造を支援するために設計された強力で信頼性の高いツールです。高精度、再現性、速度、および制御を提供し、多くの産業用途に最適です。