中古 AIXTRON Crius 31x2" #9186414 を販売中

AIXTRON Crius 31x2は、結晶成長用途向けに設計された次世代高出力炉です。水平型の下流プラテンで、結晶成長のための2ゾーンるつぼ加熱プロセスを採用しています。この原子炉は、660〜2400°Cの炉の温度を調節するために、ピロメーター制御の加熱プロファイルを利用しています。半導体や光学材料など幅広い材料に精密な温度制御を提供します。クリウス原子炉にはガス入口システムが装備されており、様々な不活性ガスや作業ガスを容易にサポートすることができます。このシステムは、必要に応じて炉の内部の結晶の酸化またはゲッタリングを可能にします。さらに、原子炉には制御された大気と窒素パージ機能が搭載されており、あらゆる成長環境に適しています。この原子炉には、高周波性能と低高調波歪み、リップルおよび入力電圧の変動を低減し、設定電圧の0。5％以内に有効な電源を維持するSCR制御電源が含まれています。この原子炉は、鋼やステンレス鋼を含む全合金材料で構成され、耐用年数を増加させる最小限の熱応力で設計されています。Criusリアクターはまた、非常に低い熱流動と優れた安定性を備えており、低温制御アプリケーションを可能にします。さらに、Crius 31x2は、アクセスポートやデータロギング機能を監視することにより、in situガスアナライザ、熱画像システム、その他のプロセスモニタリングツールなど、さまざまなプロセスツールを容易に統合できるモジュラー設計を備えています。この原子炉は、プログラマブルランプレートと自動ピーク温度調整機能を備えており、正確な温度プロファイルを維持し、優れた均質性と均一性で結晶の成長を保証します。Crius 31x2は、広いチャンバーサイズで、高い材料スループット容量を備えているため、高生産用途に最適です。この原子炉には、材料の積み込みやガスの流れを変更した場合でも、室温の均一性が± 3°Cと± 0。2°Cの温度安定性が含まれています。信頼性が高く、効率的でユーザーフレンドリーで、安全な結晶成長環境を提供します。