中古 AIXTRON Crius 31x2 #293587449 を販売中

AIXTRON Crius 31x2は、半導体製造、スパッタリング、薄膜蒸着、エッチングなど、さまざまな産業用途向けに設計された原子炉です。AIXTRON CRIUS 31 X 2には革新的な冷却技術が搭載されており、低熱予算のプロセスを可能にします。原子炉には2つの独立したプロセスチャンバーが装備されており、複数のガスを供給したり、LPCVDおよびPECVDプロセスを容易にするために、電気的または単一またはデュアルガスラインで動作することができます。プロセスチャンバーは、一次ゲートバルブ、二段真空装置、柔軟なガス制御システム、および可変速度拡散ポンプを備えたステンレス製の真空容器に収納されています。さらに、Crius 31x2には独自のAdvanced Throttle Supervision （ATS）ユニットが装備されており、プロセスを正確に制御できます。この機械は部屋の温度、サンプルホールダーの内部の温度および基質の暖房および冷却力の詳細なフィードバックを提供します。CRIUS 31 X 2には多数の機能があり、多くのユーザーにとって望ましい選択肢となっています。たとえば、革新的な高密度マルチゾーンマスデータツールを備えており、ウェーハごとにゾーンコンフィギュレーションを変更できます。反応プラズマ源には、さまざまなプロセスの要件に合わせてソース電力を積極的に調整できるクエンチ資産と調光制御が内蔵されています。AIXTRON Crius 31x2は、均一なスキャナ、プログラマブルリフトピンおよびインデクサ機構、および大型のサセプターを備えています。全体として、AIXTRON CRIUS 31 X 2は信頼性が高く汎用性の高い原子炉です。多種多様な機能を備えており、さまざまなアプリケーションやプロセスに適しています。その革新的な冷却技術は、低熱予算プロセスを可能にし、温度と基板加熱と冷却電力の詳細なフィードバックをユーザーに提供します。これらの利点により、Crius 31x2は生産、スパッタリング、エッチングプロセスに最適です。