中古 AIXTRON Crius 31x2 #293587446 を販売中

AIXTRON Crius 31x2は、エピタキシャル成長および半導体フィルムおよびその他の材料の堆積のための3ゾーンリアクターです。AIXTRON CRIUS 31 X 2は、3つのゾーンで構成された水平コールドウォールリアクターです。この機器は、RFまたはDC電源を使用して、単一またはマルチソース構成で動作します。このリアクターは高度なプロセス制御機能を備えており、ユーザーはプロセスパラメータを正確に制御できます。Crius 31x2にはロードロックと低温入力チャンバーがあり、安全な雰囲気の中でサンプルの積み込みと輸送を可能にします。さらに、ロードロックチャンバーには、導入前に基板の前処理のためのオーブンが装備されています。左右のソースにはゾーンバイゾーンのフロー制御用の可動シールドが装備されており、異なる材料フィルムのフラックスを独立して制御できます。この原子炉には、垂直成長帯と基板半導体ホルダーがあり、精密な作動と位置決めが可能です。基板ホルダーは、基板を360度まで回転させることができ、均一な成膜と成長を可能にします。温度制御は、ホットウォールとコールドウォールプロセス加熱システムを組み合わせて実現され、基板ホルダー全体の温度均一性を提供します。さらに、CRIUS 31 X 2は、オンボード光学ユニットと分光計を備えています。光学機は成長プロセスを監視するために使用され、分光計はフィルムの品質とそのエネルギーバンドギャップを分析するために使用できます。AIXTRON Crius 31x2では、30mTorrから760 Torrまでの範囲の圧力も用意されています。安全面では、AIXTRON CRIUS 31 X 2は、手動およびプログラム可能な安全インターロックの両方を標準装備しており、ツールの安全な操作を可能にします。さらに、リモートモニタリングアセットが含まれており、動作中のモデルのリアルタイムのステータスを可能にします。この機能は、機器の安全性をさらに高め、高度なプロセス監視を提供します。結論として、クリウス31x2原子炉は、高度なプロセス制御、ロードロック、および基板ホルダー機能を利用して均一な堆積と成長を提供する強力なエピタキシャル成長システムです。その高度な光学ユニットと分光計は、フィルムとその特性を正確に分析することができます。原子炉には安全インターロックと遠隔監視も含まれており、安全性と信頼性をさらに高めています。