中古 AIXTRON Crius 31x2 #293587444 を販売中

AIXTRON Crius 31x2は、基板の精密かつ再現性のある処理を目的に設計された市販の反応イオンエッチング装置です。高度なプロセス制御システムを搭載し、高いスループットと再現性のある結果を提供します。ユーザーフレンドリーなコントロールパネルにより、エッチング工程全体を正確に制御できます。このユニットには、強力な31 kW横型RF電源、ユニークで高精度で特殊なダイレクトエッチングチャンバー、および基板の積み降ろし用の信頼性の高いロボットマシンが装備されています。独自のトランバースRF電源は、6。0〜30Wの間で調整可能な13。56MHzの高い入力電圧周波数を備えており、エッチング速度を正確に制御できます。エッチングプロセスはコントローラによって監視および調整され、小さな基板でも非接触制御をサポートし、正確で再現性のある結果を保証します。さらに、革新的で高精度なダイレクトエッチングプロセスチャンバーは、消費電力を最小限に抑えながら、大きな均一なエッチングキャビティを提供するように設計されています。高いプロセス安定性と再現性により、AIXTRON CRIUS 31 X 2は大量生産および産業用途に最適です。ウエハサイズは最大200mm、エッチング深さは20 μ mを超え、精度と再現性を10分間で100ウェハまでエッチングすることができます。さらに、予測プロセス制御およびリアルタイムデータロギング用のソフトウェアパッケージを備えています。さらに、標準的なCOTSプロセスレシピやガスボックスとも互換性があります。Crius 31x2には、エッチングチャンバーのキャリアとしても、フロントローディングチャンバーの基板処理用パレットとしても使用できるロボットが付属しています。これにより、最大40個のウェーハを1つのプロセスサイクルで処理し、より高いスループットを実現する優れた柔軟性を提供します。荷降ろしと積み込みプロセスの高い位置決め精度により、ダウンタイムが短縮され、中断のない生産プロセスが可能になります。全体的に、CRIUS 31 X 2はエッチングおよび大量生産アプリケーションに適しており、生産性を最大化するさまざまな機能を備えています。その精度と再現性により、必要なアプリケーションに信頼性の高いツールとなります。