中古 AIXTRON Crius 31x2 #293587442 を販売中

AIXTRON Crius 31x2は、高度な電子、光学およびナノスケールのフィルムシステムを生成する、金属-有機化学蒸着（MOCVD）原子炉の大面積、バッチ製造です。これは、II-VI化合物の複雑で高品質の層を作成するための非常に汎用性の高いツールです。それは成長の部屋および交換可能な部品の範囲の独特な、非常にモジュラー設計を特色にします。特に次世代化合物半導体材料の開発・成長に適しています。AIXTRON CRIUS 31 X 2リアクタは、さまざまなプリカーソル材料オプションをサポートしながら、1バッチあたり最大21ウェーハの処理が可能です。モジュール式の設計により、簡単に構成可能で、部品の迅速かつ便利な交換が可能です。密閉された成長室は物質的な汚染を除去し、広範な実験的制御、高められた信頼性および優秀なプロセス一貫性を可能にします。このシステムは、非常に精密な化学分布と温度制御を提供するように設計されていますが、高度なストレージユニットは前駆体の蒸発および反応損失を低減します。この原子炉は、プロセスの柔軟性と原子層の最適化されたサブミクロン堆積を提供するように特別に設計されており、高純度のナノスケール製品の堆積を可能にしています。モジュール構成により、幅広い成長パラメータと熱分解レシピを可能にし、様々な特殊なII-VI化合物を作成することができます。Crius 31x2はまた、再現可能で一貫した熱放射源を提供するように設計されたユニークで高度な石英ソースを備えています。この機械には、信頼性の高い運用安全を確保するために、ハードウェアの分離やリミットバルブなど、さまざまな安全性と環境機能が装備されています。CRIUS 31 X 2は、さまざまなプロセス最適化アプローチをサポートし、データのフィードバック監視を提供し、堆積プロセスを厳密に制御できます。さらに、このツールには、in-situ楕円計、反射計、水晶マイクロバランスなどのさまざまな診断ツールが組み込まれており、効率的で長期的なプロセス監視と最適化を可能にします。全体として、AIXTRON Crius 31x2リアクターは、II-VI化合物の高品質の層を作成するための高度で高度なモジュラーおよび汎用性の高いツールです。フレキシブルで信頼性の高い設計により、次世代のオプトエレクトロニクスおよびナノ材料技術の開発に最適です。