中古 AIXTRON Crius 31x2 #293587441 を販売中

AIXTRON Crius 31x2は、低コストで高品質のフィルム層を生成するように設計された低圧金属有機化学蒸着（MOCVD）原子炉です。この原子炉は、化合物半導体デバイスの製造から固体照明まで、多くの用途で使用されています。AIXTRON CRIUS 31 X 2は、比較的手頃な価格で高性能をお探しの方に最適です。クリウス31x2は、300mmの石英サセプター容量を持つ3ゾーンの垂直原子炉です。Varian 6100ソースを搭載し、最大ウェーハサイズは2。5です。原子炉には水平ガスインジェクタと9つのガス源も含まれています。その総操作圧力は1300°Cの最高温度の10Tです。CRIUS 31 X 2は、高品質のデバイス層とエピタキシャル構造を生成することができます。この原子炉に注入されるプロセスガスには、HCl、水素、ヒ素、リン、シラン、アンモニアが含まれます。これらのガスが反応して半導体材料の気相反応を起こし、電子デバイスや光学デバイスを生成します。AIXTRON Crius 31x2には、緊急ガス遮断システムから危険な水素ガスを排出する機能まで、さまざまな安全機能があります。さらに、AIXTRON CRIUS 31 X 2は、衝突回避技術を備えており、運転中のサセプターの偶発的な衝突を防ぎ、損傷の可能性を大幅に低減します。全体として、Crius 31x2は手頃な価格で高性能で安全なMOCVD炉です。これは、低コストで高品質のデバイス層とエピタキシャル構造を生成するために探している人に最適です。CRIUS 31 X 2は、化合物半導体デバイスの製造からソリッドステート照明まで、信頼性の高いオプションです。