中古 AIXTRON Crius 30x2" #293587436 を販売中

AIXTRON Crius 30x2は、様々な電子デバイスの生産のために設計されたポリシリコン蒸着炉です。この原子炉は、高度な高周波プラズマ源とアブレーション源を利用して、様々なウェハにポリシリコンフィルムを形成しています。Crius 30x2は30cm x 2mのプロセスチャンバーを備えており、大規模な生産に最適です。プロセスチャンバーはステンレス製で、パルスバイアスおよび周波数変調容量カップリングプロセスチャンバーに収容されています。RF電源は、高周波電源に接続されているグラファイト電極のペアを介して適用されます。この電源は、調整可能な電圧および周波数制御ステージを備えているため、リアクタントモール比や基板温度などのさまざまな条件に対応できます。AIXTRON Crius 30x2のプロセスガス供給は、シランとアルゴンなどのキャリアガスの混合物で構成されています。シランはチャンバー内で蒸発し、リアクタントは解離してポリシリコンフィルム層を形成します。チャンバーの温度は、ウェーハが配置されているエンドブロックの加熱電力によって制御することができます。さらに、AIXTRON Crius 30x2は、圧力制御を統合し、製品の層厚に適切な蒸着圧力を可能にします。フィルムの化学的および構造的特性は、分光法や光学エンコーダなどのin-situ診断を使用して監視することができます。また、ウエハーや現場モニターの搬送に使用されるロボットアームユニットを内蔵しています。AIXTRON Crius 30x2は、電子デバイスの高品質な沈着のための信頼性と一貫したプロセスを提供し、生産環境で優れた性能と信頼性を提供するように設計されています。その高度な設計により、正確なプロセス制御と密接な監視が保証され、一貫した製品品質が保証されます。この原子炉は、大規模な生産のための経済的に効率的なソリューションを提供し、様々な生産プロセスに適しています。