中古 AIXTRON CCS 3X2 FT #9218419 を販売中
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販売された
ID: 9218419
ヴィンテージ: 2012
Reactor
Process: GaAs, InP
Capacity: 3"x2", 1"x3", 1"x4"
Electrical supply with neutral and earth
Qty / Make / Part number / Description
(1) / KURT J. LESKER / QF25-100-SRV-B / -
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15279 / Nitrile O-ring OR69-6x2-4Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-10909 / Nitrile O-ring OR5-1x1-6ni70
(2) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12600 / Nitrile O-rings BS270Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15430 / Nitrile O-ring BS278Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-14436 / Nitrile O-ring OR35-5x3ni70
(4) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12593 / Nitrile O-rings BSO12N170
(20) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15346 / Nitrile O-rings OR8-6X2-4NI70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15427 / Nitrile O-ring OR57-6x2-4Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-16214 / Nitrile O-ring OR129-5X3NI70
(2) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15345 / Nitrile O-rings BS154NI70
(4) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12605 / Nitrile O-rings OR19-5X3NI70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12579 / Nitrile O-ring BS248NI70
(2) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15428 / Nitrile O-rings BS273Ni70
(3) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15429 / Nitrile O-rings BS267NI70
(1) / EBARA / - / Pump fuse
(1) / - / - / ASSY Prober kit
(1) / - / - / Screw for holding clamp
(12) / - / - / Bath lids
(15) / - / - / Mesh filters
(1) / - / - / DYMAX 5 Pump
(1) / INSTRON / CL1192B / Black body
(1) / - / - / Micro vac mini tool kit
(2) / - / - / Fuses
(1) / - / - / Thermo element, type K, 800 mm Lg
Power: 400 V, 3-Phase, 50/60 Hz, 100 A, 5 Wires
2012 vintage.
AIXTRON CCS 3X2 FTは、さまざまな用途で高品質の薄膜を実現するために設計された、汎用性の高い高度なプラズマ強化化学蒸着（PE-CVD）原子炉です。この原子炉は、酸化物、窒化物、ダイヤモンド、金属を含む幅広い材料で最大100nmの厚さの薄膜を作成することができます。高い沈着率、高純度、優れた均一性を必要とするプロセスに適しています。この原子炉には、蒸着プロセスの進行をリアルタイムで監視するために使用できるビューポート付きの3X2フィートのステンレス製のカプセル化された真空チャンバーがあります。AutoClampシステムでサポートされている強力で均一なプラズマソースを搭載しており、負荷とアンロード時間を短縮します。AutoClampシステムは、粒子生成を最小限に抑える精密で反復可能な基板クランプも提供します。また、PE-CVDプロセスは、マグネトロンまたはフィラメントカソードを介してガス混合物にエネルギーを印加することによって最適化され、前駆体を反応種に分解し、材料特性が向上した薄膜を形成します。CCS 3X2 FTリアクターは、高度なハードウェアとソフトウェアを使用して、堆積パラメータを簡単に直接制御します。このソフトウェアは、広範なデータロギング機能を備えた温度、圧力、蒸着速度を維持および記録することができ、優れたデータ分析をリアルタイムで提供します。さらに、SEMI F47-0291規格に準拠しており、最高レベルのプロセス制御、精度、再現性を保証します。この原子炉は、最大稼働時間を考慮して設計されており、生産性を向上させるためのいくつかの機能が装備されています。広範なプロセスオートメーション、自動プロセス排気、PID制御および自動ガスシャットダウンによる温度制御、およびさまざまなプロセスを簡単に分析するためのオンボード診断ツール。それはプロセス制御および信頼性の高レベルの小型および大きいバッチサイズの薄膜の沈殿のための理想的な解決です。その他の利点は、高速蒸着速度とサイクル時間、低エネルギー消費、最小粒子生成、優れた均一性、可変性とカスタマイズ性、簡単なメンテナンス、比類のないプロセス品質です。この柔軟で経済的な原子炉は、産業用の薄膜蒸着アプリケーションに最適です。
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