中古 AIXTRON AIX 2800 G5 #9315627 を販売中

AIXTRON AIX 2800 G5
製造業者
AIXTRON
モデル
AIX 2800 G5
ID: 9315627
MOCVD System.
AIXTRON AIX 2800 G5は先端材料の生産に先端技術を使用する原子炉です。独自の技術とカスタマイズ可能な機能により、顧客の特定のニーズを満たすことができます。AIX 2800 G5は、大規模な製造のための自動化された費用対効果の高いソリューションを求めるお客様に最適です。AIXTRON AIX 2800 G5は、大規模なバッチモードで自動化されたMOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)原子炉です。これは、モジュラー設計を備えており、さまざまなアプリケーションを可能にします。効率的で信頼性の高いプロセス制御装置により、お客様はさまざまな基板から一貫した高品質の結果を得ることができます。AIX 2800 G5は、正確な制御と再現性を備え、複数の材料蒸着プロセスを実行するための理想的なプラットフォームです。AIXTRON AIX 2800 G5は、一度に最大8つのウェーハを処理できます。カスタムデザインのソースシリンダーを備えており、バッチプロセス中にすべてのプロセスガスを各基板に確実にフラックス分布させることができます。その高度なプロセス技術は、さまざまなプロセスの組み合わせをサポートし、複雑な薄膜デバイスの作成に最適です。さらに、原子炉は、一貫した結果を維持するために、入ってくるガスから粒子などの不純物をろ過する高度なろ過システムを持っています。このユニットは一連のフィルターとスクラバーで構成されており、不要な粒子をナノメートルサイズまでフィルタリングすることができます。AIX 2800 G5には、品質管理を確実にするための統合されたリアルタイムプロセス監視ツールが装備されています。これには、プロセスの不整合を検出し、コースの迅速な修正を可能にするパターン認識アセットが含まれます。さらに、リアクタは連続モードまたは半連続モードで動作するため、複数のウェハに一度に連続蒸着できます。そのデジタルプロセス制御により、正確な時間と温度制御と優れたプロセス再現性が保証されます。AIXTRON AIX 2800 G5は、効率的な先進技術の結果、優れた品質と精度でさまざまな材料を生産することができます。これらの材料には、半導体グレードIII-V化合物および酸化物、高性能ポリマー、および絶縁ゲート装置が含まれます。独自の技術により、AIX 2800 G5は顧客の特定の要件を満たすためにカスタム部品を製造することができます。全体として、AIXTRON AIX 2800 G5は高度な大型MOCVD炉であり、先端材料の効率的で信頼性の高い生産を可能にします。その高度な技術とカスタマイズ可能な機能により、幅広い用途に対応する高品質な材料の大規模な製造に最適なソリューションです。
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