中古 AIXTRON AIX 2800 G5 HT #9384948 を販売中

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製造業者
AIXTRON
モデル
AIX 2800 G5 HT
ID: 9384948
ウェーハサイズ: 2"-6"
ヴィンテージ: 2011
MOCVD System, 2"-6" GaN Main pump: EBARA ESA80W-HDF (2) Scroll pumps RF Generator Hydried line: NH3-1, NH3-2, SiH4 Chamber: 56x2''/ 8x6'' Temperature monitors: Photrix LWL Luxtron EpiTT x G5 x 405 nm MO Sources: TMGa-1 TMGa-2 TMAl-1 Cp2Mg-1 Cp2Mg-2 TMIn-1 TMIn-2 TEG-1 TEG-2 Power supply: 400/230 VAC, 3-Phase, 4-Wires+ground 2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G5 HTは、高品質のワイヤーグリッドポラライザー(WGP)およびその他の薄膜ベースの光学部品の製造を可能にするように設計された、生産規模の商用成膜装置です。これは、1000°Cまでの温度でIII-V材料の化学蒸着(CVD)を実行し、金属、酸化物、顔料、誘電体の層の直接書き込み電子ビーム蒸発を行うことができる高温、ハイブリッドツールです。AIXTRON AIX 2800G5 HTは、高性能3レベルのパージシステム、高速DC電源、最大4つのスピンドルを備えた高精度の蒸着ヘッドを備えています。AIXTRON独自のファセティングブレードホルダーを搭載し、WGPの多角形成膜、成膜後エッチング、表面研磨を可能にします。また、完全に自動化された極めて精密なロボットアームにより、材料の積み込み、積み下ろし、基板から基板への搬送が可能です。AIX 2800 G5 HTは、コンパクトでハイスループットな設計と高度で高度な制御ユニットを組み合わせています。ユーザーインターフェイスは非常にユーザーフレンドリーで、直感的にガイドされたセットアップと迅速な基板バッチ処理を可能にします。このツールには、統合されたデータ収集および分析スイート、ならびに手動または完全に自動化されたレシピ管理のための最先端の自動電源制御が含まれています。その強力な診断モジュールは、重要なパラメータの完全な現場監視とオンザフライの欠陥検出と修正を可能にします。完全に自動化されたプロセスデリバリーシステムは、正確で反復可能な薄膜蒸着プロセスを保証し、異なる材料およびアプリケーション固有のプロセス条件にわたって迅速なチューニングと開発を行います。AIX 2800G5 HTは、WGPなどの多くの超高精度光学薄膜コーティング用途やその他の多くの薄膜集約用途に最適な高温、高精度、強力な成膜アセットです。その優れた製造能力と精密な材料操作機能により、ユーザーは今日の市場で最も精密で光学的に精密な部品を製造することができ、最高品質の製品を必要とする薄膜生産者にとってこのモデルは不可欠です。
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