中古 AIXTRON AIX 2800 G5 HT #9226657 を販売中

AIXTRON AIX 2800 G5 HTは、大型基板の精密エッチング用に設計された高性能反応型イオンエッチング（RIE）炉です。AIX 2800は、低エネルギー（LE）と高エネルギー（HE）の両方のエッチングが可能で、最大限の柔軟性とプロセス精度を提供することができます。AIX 2800には13。56 MHzジェネレータと多層カソード/QCM制御用のキャビティが装備されています。この構成により、エッチングプロセスの均一性が向上し、ウェーハ表面全体のエッチング均一性が向上し、再現性が向上します。AIX 2800は、デュアルロードロック、マルチステージポンプセットアップ、リアルタイム温度モニタリングを備えたチャンバ温度制御システム、内蔵のPLCおよびシュナイダーエレクトリックサーボコントローラも備えています。この高度な機能セットにより、再現性と精度の高いマルチステージエッチングレシピの実行と、自動化とプロセスシステム制御の強化が可能になります。AIX 2800には、最新のin-situ残留ガス分析技術も搭載されています。このシステムは、プロセスチャンバーに取り付けられた質量分析計を使用して、チャンバの大気成分を分析し、各プロセスステージのエッチング性能を最適化します。AIX 2800の多彩なエッチング機能、先進的なfeatureset、幅広い基板との互換性により、半導体、MEMS、 LED業界の生産設備に理想的なエッチングツールとなっています。これは、製造プロセスでコストを最小限に抑え、デバイスの歩留まりを増やすための効率的で信頼性の高いツールです。