中古 AIXTRON AIX 2800 G4 #9286299 を販売中

AIXTRON AIX 2800 G4は、高度な半導体構造を製造するための最先端の、密接結合された、強制流動、液体反応チャンバーです。この装置の主な特徴は、フロントオープンロードロックチャンバー、自動化されたソースチャンバーシャッター操作、リモートコントロールのソースオリエンテーション、第三世代LPCVDプロセスチャンバーです。AIXTRON AIX2800G4は、優れたフィルム特性と優れた材料スループットを提供するように設計されており、高度なリソグラフィ、MEMS、オプトエレクトロニクス、Power-MOS、 CMOS構造など、幅広いサブミクロンアプリケーションに適しています。このユニットは、毎時80ウェーハの効果的なローディング速度と、非常に一貫した結果を提供する統合された反応フローマシンを提供します。これは、上昇フロアツールに基づいており、柔軟なロボットやチャンバーの様々なアクセスを提供します。AIX 2800G4は、精密なソースの向きと温度安定化を行うように設計されたソースアームを使用して、4段階のソースモンタージュ配列を実行できます。また、このアセットは高度な温度制御機能を提供し、プロセス距離に対する均一性を向上させます。LPCVDプロセスチャンバーには、RF加熱と水素およびプロセスガスが装備されており、様々な材料の効率的な堆積が可能です。高精度な厚さ制御により、優れた再現性と相互接続された層構造を堆積することができます。AIX 2800 G4は、今日の市場で最も先進的な半導体構造の原子炉の1つです。高度なオートメーション、高スループット、信頼性の高い現場監視機能により、ユーザーは高品質で高度な半導体デバイスを生産できます。このモデルはメンテナンスも簡単で、ダウンタイムを最小限に抑えて長年サービスを継続することができます。この原子炉は、先進的な半導体デバイスを製造しようとする研究所、半導体メーカー、大学に適しています。