中古 AIXTRON AIX 2800 G4 ICHT #9135752 を販売中

AIXTRON AIX 2800 G4 ICHTリアクターは、高度なエピタキシーおよび成長アプリケーション向けの高性能で信頼性の高いリアクタです。プロセスの最初から完了まで、高度な制御、精度、精度を提供するように設計されています。AIXTRONは、高い歩留まりと信頼性の高い最高品質の素材生産により、業界のリーダーとしての地位を確立しています。AIX 2800 G4 ICHTリアクターは、正確な温度制御と高い再現性を備えた幅広いプロセス条件を提供するマルチゾーン機器です。このモデルは193個の加工チャンバーを備えており、より大きなキャビネットとより速い積載時間を可能にします。さらに、統合されたプロセス制御およびデータ収集システムを備えており、すべてのプロセスパラメータをリアルタイムで監視できます。また、高度なウェーハ処理、計測、ウェーハ負荷低減機能にも対応しています。汎用性の高いリアクター設計により、金属有機化学蒸着（MOCVD）技術を使用することができ、基板表面全体に優れた均一性とステップカバレッジを提供します。このモデルは平面化技術も提供しており、追加の処理なしで製造できる複雑なデバイスアーキテクチャを可能にします。内蔵の乱流プレートにより、結晶成長は一貫しており、大きなウェーハでも均一です。AIXTRON AIX 2800 G4 ICHTリアクターは、高精度の回転駆動とカルボライトプロセスチャンバーで設計されており、不活性で安定したプロセス環境を提供します。このモデルはまた、低圧プロセス制御を提供するEQCU（エピタキシャル水晶振動子）を備えており、費用対効果が高く信頼性の高いプロセス環境を作り出します。原子炉はクローズドループ安定化機で動作し、最高レベルのプロセス制御と精度を提供します。全体として、AIX 2800 G4 ICHTリアクターは、エピタキシャルおよび成長アプリケーションにおいて卓越した性能と歩留まりを提供する高度なツールです。193個の加工チャンバと統合された制御およびデータ収集アセットを提供し、正確な温度制御、幅広いプロセス条件、および均一な結晶成長を提供します。このモデルは、高度な回転駆動とカルボライトプロセスチャンバーにより、不活性で安定したプロセス環境を提供し、正確で費用対効果の高い成長を実現します。