中古 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9302603 を販売中

AIXTRON AIX 2800 G4 HTシリーズリアクターは、III-VやグループIII-Vなどの薄膜材料、金属、誘電体などの高温プロセスを利用しています。非常に高い蒸着速度と高品質の蒸着層、非常に精密なプロセス制御、低メンテナンス、およびプロセス誘発振動に対する耐性を兼ね備えています。これにより、AIXTRON AIX 2800G4-HTシリーズリアクターは、高度な半導体およびオプトエレクトロニクスデバイスの生産における高スループットプロセスに最適化されています。AIX 2800G4 HTシリーズリアクタは、プロセスオートメーション、強力なプロセス制御機能、および高速EFEM制御を備えています。この原子炉はまた、高出力、非常に低いプロセス温度、大面積の堆積、比類のない空間分解能のユニークな組み合わせを提供します。これにより、短いサイクルタイムで高いスループットが要求されるアプリケーションや、均一性と欠陥のない成長のための厳格な要件を備えたアプリケーションに最適です。AIXTRON AIX 2800 G 4 HTシリーズは、高さ0。255インチの直径のるつぼとサセプターを備えています。これにより、原子炉は正確で均一な層を堆積させることができます。ECM制御装置はまた、高精度で再現性の高い均一な炉の温度を提供する熱壁炉の設計を備えています。この原子炉はまた、高品質の蒸着のためにユニークで慎重に設計されたデュアルガス制御システムを利用しています。デュアルガスコントロールユニットの主な特徴は、高いガス供給安定性、高速ガス活性化、過剰ガスの自動洗浄、およびリアルタイムでプロセスパラメータを監視/制御する機能です。この最先端の原子炉は、性能と安全性を向上させます。それは操作の間にプロセス安全を保障し、ダウンタイムを減らす革新的な不活性ガスのカスケード機械が付属しています。また、人工知能ベースのデータ分析およびプロセス監視機能を搭載しており、プロセス制御と最適化を向上させます。AIX 2800 G4 HTシリーズリアクターは、高スループットとパラメータを備えた高度なデバイスを成長させるための完璧なツールです。自動化された精密な制御、安全機能、および大面積の堆積とともに、最高のパフォーマンスを提供します。