中古 AIXTRON AIX 2600 G3 #9393354 を販売中

AIXTRON AIX 2600 G3は研究開発に使用される高性能エピタキシャルリアクターです。高温アニーリング、シリシデーション、超薄層成膜など、さまざまな材料やプロセスに対応できる汎用性の高い機器です。このシステムは、ターゲット・デバイスの性能を達成するためにしばしば必要とされる基板サイズ、温度制御、および再現性の共通の要求を満たすように設計されています。AIXTRON AIX 2600G3は、低圧（<10 mbar）、低温（<250°C）動作、高圧（>10 mbar）、高温（>1000°C）動作が可能で、信頼性の高いプロセス制御と最適化が可能です。高度な温度および流量制御ユニットは、損傷のないベースレイヤーに対して均一なエピタキシーを保証し、機械は材料の最大使用率とスループットを高精度に位置決めします。AIX 2600 G3には強力なタッチスクリーンコントローラが搭載されており、直感的なユーザーインターフェイスと、圧力、温度、フローなどのプロセスパラメータのリアルタイム監視を提供します。これにより、ユーザーはプロセスを完全に制御し、リアルタイムで結果を監視することができます。また、人員や材料の安全を確保するために、過熱連結や逆加熱ゾーンセンサーなど、幅広い安全機能を備えています。AIX 2600G3は、長期的な信頼性と性能、低メンテナンスコスト、高レベルのプロセス制御に重点を置いて設計されています。薄膜成膜、アニーリング、ドーピングプロセスなどの基板エピタキシャルプロセスの研究開発に最適な汎用性の高い高性能ツールです。キャビテーション、電子ビーム、イオン注入プロセスなどの高度なアプリケーションにも適しています。