中古 AIXTRON AIX 2600 G3 HT #9359365 を販売中

AIXTRON AIX 2600 G3 HTは、さまざまな有機発光ダイオード（OLED）材料を製造するための重要なコンポーネントです。この重要な原子炉は、革新的なハイブリッドマイクロ波/ホットウォール技術を使用することにより、並外れた能力を提供します。この技術は、600°Cまでの高温アニーリングを可能にし、極めて低温および高熱予算での材料生産を可能にします。AIX 2600 G3 HTは、Hot Wall、 Hot Source、およびマイクロ波処理を同じチャンバーで組み合わせたハイブリッド技術により、先進的な機器です。システムは3つの独立したプロセス区域の使用によって精密な温度およびプロセス制御を提供します；これらの領域は、OLED材料生産の3つの最も重要な側面を表しています。基板調製、材料沈着、アニーリングです。これらの領域は、3つの独立した窓に分割して、異なる熱予算と特性を持つ材料を生成するために使用することができます。AIXTRON AIX 2600 G3 HTは、クローズドループ温度制御を使用したタイトなプロセス制御ループを備えています。CLTC （Closed-Loop Temperature Control）を使用して、オペレータによって設定された適切な熱プロファイルがプロセスの各フェーズで確立されていることを確認します。AIX 2600 G3 HTはまた、製造工程中のウェーハの自然な反りを補償するために、Vacuum Wafer Warping （VWW）を使用しています。AIXTRON AIX 2600 G3 HTは、炭化ケイ素（SiC）発熱体と2つの強力な冷却ファンを備えたよく設計されたチラーチャンバーにより、アニーリングプロセスの優れた均一性を提供します。これにより、基板のサイズや厚さ、基板の堅牢性、またはプロセスの複雑さに関係なく、ウェーハまたは基板全体にわたって非常に均一な温度プロファイルが提供されます。AIX 2600 G3 HTは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、非常にユーザーフレンドリーで操作が簡単です。このグラフィカルユーザーインターフェイスは、システムを操作し、人間工学に基づいた椅子の快適さからプロセス全体を監視するために必要なすべての情報を提供します。AIXTRON AIX 2600 G3 HTはOLEDの生産のための信頼でき、強力な用具です。これは、ハイブリッド技術は、優れた温度とプロセス制御だけでなく、優れた均一性を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェースと堅牢な技術により、さまざまなOLED材料を製造するための統合ソリューションとなります。