中古 AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O #9352626 を販売中

AIXTRON AIX 2600 G3 HT-Oは、高度なオプトエレクトロニクス材料構造の開発のために超薄膜を成長させるために設計された高度な分子ビームエピタキシー（MBE）原子炉です。AIXTRON成長技術の最新技術を活用した、業界で最も強力で効率的なMBE炉の1つです。この先進的なMBE原子炉は、様々な低次元電子および光電子材料を成長させることができ、幅広い分野で多数のアプリケーションを持っています。AIX 2600 G3 HT-Oは、成長チャンバ、トランスファーチャンバー、ロードロックからなるユニークなトリプルチャンバー設計で構築されています。成長チャンバーは独立して加熱され、加圧されるため、成長プロセス全体にわたって正確な熱および圧力制御が可能です。Carbon、 Nitrogen、 Gallium、 Indium、 Aluminum、 Quartz Crystal Oscillatorなど、いくつかのMBEソースがあります。高真空インターロック装置によって成長チャンバに接続されているトランスファーチャンバーは、成長チャンバと負荷ロックチャンバー間のサンプルの遷移を担当します。ロードロックチャンバーは、サンプルローディングとアンロード用に設計されており、基板用と基準結晶用の2つのサンプルホルダーが装備されています。AIXTRON AIX 2600 G3 HT-Oは、特許取得済みのデガ技術、マルチゾーンまたは「ゾーン固有」の加熱システム、および高度なイオンビームスパッタリングなどの高度なAIXTRON技術を利用しています。デガス技術は、トレース汚染のない非常にクリーンな材料を提供する成長チャンバーに1x10-2 mbarの圧力を作成します。マルチゾーン加熱ユニットは、チャンバー全体でより効率的に熱を伝達するために使用され、特定の領域をゾーンにプログラムすることができます。高度なイオンビームスパッタリング（IBS）ソースは、ほぼすべての材料の非常に薄いフィルムを堆積することができ、スパッタリングプロセス中の損傷を制限するように特別に設計されています。AIX 2600 G3 HT-Oの他の機能には、ロードロックとトランスファーチャンバーにリンクされた高真空ターボポンプ、リーク検出機、シャトルバルブがあります。高真空ターボポンプは、成長室と搬送室、およびロードロックおよび搬送室の間の空気の迅速な避難を容易にします。リーク検出ツールは、資産内のガス漏れの可能性を監視します。最後に、シャトルバルブを用いて、紫外光電子分光や走査型電子顕微鏡分析などのモデル内での解析実験を行います。全体として、AIXTRON AIX 2600 G3 HT-Oは、今日利用可能な最も先進的なMBE原子炉の1つです。その高精度な温度および圧力制御機能と高度な成長技術は、ナノ構造の探索と高度な光電子材料構造の開発に理想的なツールとなります。