中古 AIXTRON AIX 2400 G3 HTL #9377347 を販売中

AIXTRON AIX 2400 G3 HTLは、業界をリードする高温金属化学蒸着（MOCVD）炉です。この原子炉は、2ゾーン構成、高温動作、および高度な原子炉監視システム（ARMS）を備えています。それは1000°Cまでの温度で良質材料の急速な成長率を提供します。この原子炉には、8つの独立して動作するプロセスゾーンが装備されており、材料またはマルチゾーン堆積のためのより高い容量があります。自動化された圧力および供給のガス技術によって高度の温度および成長率の制御を提供します。また、基板表面全体の均一な成長を維持するために、付属のシャワーヘッドを装備しています。各プロセスゾーンの温度は、特許取得済みのHTL熱伝達システムと高度な温度制御を備えた石英チューブ炉、および温度安定性と均一性を維持するアクティブなフラッシングシステムを使用して正確に制御されます。さらに、8つのプロセスゾーンのそれぞれに適切なガス供給を確保するために、ガスキャビネットと独立した電源が装備されています。ARMSは、オンデマンド成長率データを提供する統合制御、監視、記録装置です。ソフトウェアは、任意の異常なプロセスの動作の場合には事前にプログラムされたアラーム設定でリアルタイムで実行することができます。さらに、8つのプロセスゾーンごとに内部圧力パラメータを設定することで、最高レベルのプロセス制御と精度を提供します。AIX 2400 G3 HTLは、要求の厳しいアプリケーションに対応する強力で汎用性が高く信頼性の高い原子炉です。それは研究および生産の適用の両方のために適しています、優秀な性能を提供します。また、高度なプロセス制御システムを使用して成長率と歩留まりを最適化することも効率的です。この製品は、高温蒸着機能を必要とするあらゆる用途に最適です。