中古 AIXTRON AIX 2400 G3 HTL #9300885 を販売中

AIXTRON AIX 2400 G3 HTLは先端材料の高スループット堆積のための最先端の有機金属化学蒸着（OMCVD）原子炉装置です。低消費電力設計と最小のダウンタイム要件により、高い信頼性と低メンテナンスのために設計されています。原子炉は、オープンチャンバーリアクター、ホットウォールクォーツリアクター、6ウェイセンタリング装置、コンピュータ制御材料導入システムなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。さらに、AIX 2400 G3 HTLには、電源、安全システム、および高真空システムが含まれています。AIXTRON AIX 2400 G3 HTL内のオープンチャンバーリアクターは、200-1000 mLの容器容量で動作するように設計されており、優れた耐食性と長期耐久性をもたらすステンレス鋼で構成されています。この原子炉はまた、蒸着層の生産の品質と均一性を向上させるために設計されたホットウォール石英技術を利用しています。6ウェイセンタリング装置は、正確なウェーハ位置制御のために簡単に配置および設定することができます。この機能により、生産全体の効率性が向上し、生産プロセスの一貫性と再現性が向上します。オープンチャンバー炉に加えて、AIX 2400 G3 HTLには材料導入ユニットも装備されています。この機械は部屋に源の材料をしっかり供給するように設計されています。材料紹介ツールは、フローコントローラと熱電対とともに加熱石英るつぼで設計されており、流量、温度、圧力を正確に制御できます。コンピュータ制御の材料導入資産は、堆積プロセス全体にわたって高精度を提供し、エラーの可能性を低減します。AIXTRON AIX 2400 G3 HTLはまた、電源と統合ガス警告モデル、酸化を最小限に抑えるための不活性ガスのパージ、緊急シャットダウンと通気手順、リアルタイムの低レベル品質保証フィードバック、およびさまざまなプロセス監視ツールなどの追加の安全システムも含まれています。また、高真空装置を搭載しており、0。001Mbarの到達圧縮が可能なターボポンプを採用し、生産精度の向上を図っています。要約すると、AIX 2400 G3 HTLは先端材料の高スループット堆積用に設計された最先端のOMCVD原子炉です。原子炉には、オープンチャンバーリアクター、ホットウォールクォーツリアクター、6ウェイセンタリング装置、コンピュータ制御材料導入システム、電源、各種安全システム、高真空装置など、いくつかのコンポーネントが含まれています。この原子炉は、ダウンタイムを最小限に抑えるとともに高精度の蒸着生産を提供し、ステンレス製のチャンバー構造は優れた耐食性と耐久性を保証します。