中古 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9352602 を販売中

AIXTRON AIX 2400 G3 HT（高強度化）は、半導体産業における柔軟な薄膜成膜と高度な校正プロセス向けに設計された高性能多目的炉です。これは、広々とした8チャンバー構成と最適化されたチャンバルブを備えた非常に堅牢な設計を特徴としています。AIXTRON AIX 2400 G3/HTリアクターの主なコンポーネントには、プロセスチャンバー、ガス入口、ガス出口、蒸着板、プロセスインターフェース、RFG基板ホルダーが含まれます。各チャンバーは個別のラッチ装置で設計されており、安全で反復可能な接続ポイントを提供し、ユーザーが基板を素早くロードおよびアンロードすることができます。プロセスチャンバーは、PIDコントローラを介して制御されるオンボードホットゾーンシステムによって加熱されます。AIX 2400 G3 HTリアクタガスインレットは、各ガスタイプの個別ボールバルブを備えたクイックコネクト設計を特徴としています。組み込み部品はすべてステンレス製のベンチュリノズルで接続され、プロセスを清潔で効率的に保ちます。この原子炉はまた、レシピや校正を変更する際にプロセスチャンバーを確実に洗浄するための包括的なプログラマブル自動クリーンを備えています。チャンバー蒸着板は、基板上に薄膜を簡単かつ効率的に蒸着するための多数のキャリアを提供します。RFG基板ホルダーは、加熱均一性を向上させるために設計されており、精密成長に使用するのに適しています。さらに、原子炉には自動化されたプロセスインターフェイスと、出力1MHz-13。56MHzの強力なRFジェネレータが含まれています。AIX 2400 G3/HTリアクターには、過熱監視機や緊急停止ボタンなど、ユニットを保護するための安全機能が装備されています。また、高速で高感度なソフトウェアを備えており、パラメータをリアルタイムで監視および調整することができます。全体として、AIXTRON AIX 2400 G3 HTは、半導体産業のニーズを満たすように設計された汎用性の高い多機能炉です。革新的な設計、堅牢な建設、包括的な安全機能を備えたこの原子炉は、高信頼性および高性能の蒸着操作に最適です。