中古 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #293826515 を販売中

AIXTRON AIX 2400 G3 HTは、III-V化合物半導体材料の開発と製造のための画期的なツールです。従来の半導体材料を上回る特性を持つ材料の開発が可能です。AIXTRON AIX 2400 G3/HTは、温度安定基板チャックを備えた水平シャワーヘッドリアクターです。それは一定した温度および圧力環境で作動し、基質の成長を作成します。水平チャックは、外部重力場からの影響を排除します。シャワーヘッドシステムは、前駆体ガスを噴霧し、基板にフルレンジの露出を与えます。原子炉のすべてのコンポーネントは、壁、シャワーヘッド、および基板チャックを含む温度制御することができます。AIX 2400 G3 HTのシャワーヘッドは、基板上のソース材料の均一な分布を提供するように設計されています。原料の霧化とパターン形成は、さまざまなパラメータによって制御されます。原料はガスまたは液体を介してシャワーヘッドに供給され、原料を均等に分配します。AIX 2400 G3/HTリアクターには、in-situクリーニング機能もあります。これにより、基板を冷却して実行間を清掃することができます。このプロセスにより、成長した材料の品質と精度が向上し、ウェーハのクロス汚染も低減されます。AIXTRON AIX 2400 G3 HTはIII-V化合物半導体材料の開発に最適なツールです。それは一定した温度および圧力条件の下で均一な、再現可能な沈殿を提供します。in-situ洗浄機能により、成長した材料の精度と品質が向上し、効率的な霧化により基板のフルレンジ露出が可能になります。この革新的な原子炉は、光学、電気、熱特性を向上させた高品質のIII-V化合物半導体材料の成長に不可欠です。