中古 AIXTRON AIX 2000 #9376992 を販売中

AIXTRON AIX 2000リアクターは、薄膜の成長に使用される高度な化学蒸着装置です。これは、基板上に薄膜を堆積させるために低温反応を使用する単室水平管炉システムです。AIX 2000には、内部および外部の発熱体とともに、統合された水晶管があります。AIXTRON AIX 2000は、排気ガスが避難炉の管に入ることを可能にし、プロセスの物理学が周囲の空気の浸潤を防ぐ空気密閉ドアを装備しています。AIX 2000には多数のプロセス制御機能が搭載されており、多くの蒸着アプリケーションに適応可能です。これは、炉管内の蒸着速度と温度を正確に制御することができ、統合された自動プロセス制御ユニットが含まれています。また、ガス組成と流量の独立した制御、圧力制御と監視を可能にするガス管理機を利用しています。AIXTRON AIX 2000は、制御性、再現性、信頼性の高い薄膜成膜処理用に設計されています。これは、均一な低温蒸着反応のための加熱サンプルと基板表面を可能にする2ゾーン加熱ツールを備えています。また、サーマルサイクル中の基板やサンプルへの損傷を排除する低温反応環境を提供します。AIX 2000のプロセスチャンバーには、ガス管理資産と高度な冷却モデルが組み込まれています。これにより、精密で制御可能な蒸着速度で、さまざまな高品質の薄膜アプリケーションが可能になります。AIXTRON AIX 2000リアクターは、オペレータが成長の進行を監視することができ、また、堆積品質を監視することができます組み込みの光学機器を持っています。AIX 2000リアクターは、光学活性金属酸化物薄膜を堆積するための効率的で費用対効果の高いツールです。LED製造、太陽電池製造、光学デバイス、太陽電池、光電子フィルムなど、さまざまな薄膜関連の研究プロジェクトに使用できます。さらに、AIXTRON AIX 2000リアクターには、圧力制御、温度制御、ガス組成制御、ガス流量制御など、さまざまなプロセス制御機能が搭載されています。全体として、AIX 2000リアクターは、さまざまな高品質の薄膜を堆積するための信頼性の高い費用対効果の高いツールです。これは、フィルム汚染のリスクを大幅に低減するために、さまざまな高度なプロセス制御機能と組み込みのガス制御システムを提供しています。さらに、高度な冷却ユニットとフィルム成膜品質と均質性を監視するための統合された光学機器を備えています。