中古 AIXTRON AIX 200 / 4RFS #293636224 を販売中

AIXTRON AIX 200 / 4RFS
製造業者
AIXTRON
モデル
AIX 200 / 4RFS
ID: 293636224
ウェーハサイズ: 2"
MOCVD Systems, 2" (3) Wafers.
AIXTRON AIX 200/ 4RFSリアクターは、AIXTRON GmbHによって開発された非常に洗練された装置です。半導体ウェーハなど、複合材料をベースにしたオプトエレクトロニクス部品の製造に使用されるように設計されています。AIX 200/ 4RFSシステムは、最先端のベルジャータイプのユニットに基づいており、リアクタントがベルジャーに注入されています。リアクタントは4,000°Cまでのガス燃焼で必要な温度に加熱されます。望ましい温度に達すると、機械は反応室に高真空を作り出します。これにより、反応剤は可能な限り低い圧力で反応することができ、化学反応に最適な環境を提供する。反応温度と圧力を正確に制御し、任意の反応プロセスに最適化することができます。AIXTRON AIX 200/ 4RFSツールは、高品質で均一なウェーハを確保するために、シラン、水素、リン、および他のタイプの前駆体ガスなどの幅広い原料材料を供給することができます。この原子炉は、半導体材料の再分配と最適化を容易にするために、ウェーハを高温にさらす急速な熱アニーリング処理も可能です。また、AIX 200/ 4RFSアセットは、統合された光学モニタリングモデルを備えており、生産中に比類のない精度を提供します。光モニタリング装置は、望ましくない材料や反応の副産物を検出することができ、これらの問題をリアルタイムでオペレータに通知することができます。これにより、オペレータはプロセスを迅速に調整し、最高品質の結果を保証することができます。また、AIXTRON AIX 200/ 4RFS炉は、最高の安全性と安全性を念頭に設計されています。原子炉システムは、コンピュータ制御されたプログラム可能なロックアウト装置を使用して、機械への不正アクセスを防止します。このツールはまた、危険な状況が発生した場合に自動的に原子炉をシャットダウンする緊急停止資産で設計されています。AIX 200/ 4RFSリアクターは、最高の性能、安全性、信頼性を提供する画期的なモデルです。反応温度や圧力を正確に制御する機能と、統合された光学監視装置により、半導体ウェーハやその他の光電子部品の製造に最適です。AIXTRON AIX 200/ 4RFSリアクターにより、AIXTRON GmbHは顧客に高品質のソリューションを提供するというコミットメントを再び実証しました。
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