中古 AIXTRON 2600G3 HT #9233663 を販売中

AIXTRON 2600G3 HTは、先進的で高性能な閉容器化学蒸着（CVD）炉です。この原子炉は、さまざまな材料に信頼性の高い高品質の薄膜蒸着を提供するように設計されています。AIXTRON 2600 G3 HTは、金属、酸化物、窒化物などの半導体およびその他の薄膜コーティング用途に適しています。HTの中心2600G3は堅牢な蒸着チャンバーがあり、ステンレス製の壁と床が硬いフレームに取り付けられています。この設計は、信頼性と長寿命の操作を提供するために構築されながら、チャンバーの均一な加熱と冷却を可能にします。この装置の最も顕著な特徴は、温度プロファイリングとプロセスの再現性を正確に制御できる高度な温度制御システムです。これにより、フィルム表面の欠陥を最小限に抑え、安定した成膜が可能です。2600 G3 HTはまた、プロセス中にリアルタイムの温度測定を提供する統合された2ステップピロメーターを装備しています。3900Aユニットは、高められた安全性と持続的なマシンライフサイクルを提供し、一貫した高品質のフィルム蒸着を保証します。高速ロードロック機構により連続運転が可能であり、ウェーハの迅速なターンアラウンドタイムを実現します。この強化されたツールの安全性は、ウェーハと治具の温度を監視し、ウェーハが安全でない状態にさらされないようにする統合されたTC警告アセットでも管理されます。AIXTRON 2600G3 HTリアクターは、ユーザーフレンドリーで信頼性の高い操作に加えて、高度なシャワーヘッド技術を通じて最適化された薄膜分布も提供します。シャワーヘッド設計により、異なるウェーハ上のレイヤー間のばらつきを低減し、蒸着プロセスの均一性を確保します。優れたガスと流体の流量の供給と混合により、プロセスの安定性がさらに向上し、均一な粒子サイズとエネルギーを持つ粒子の均一な堆積が形成されます。最後に、高いパルス電流電源により、AIXTRON 2600 G3 HTは超薄型コーティングに最高の解像度で高精度な厚さ制御を提供できます。全体として、2600G3 HTは、顧客が正確で高品質の金属、酸化物、窒化物薄膜コーティングを作成するのを助けるように設計された非常に革新的で信頼性の高い原子炉です。その高度な温度制御モデル、強化された安全対策、およびシャワーヘッド技術は、最高品質で反復可能で均一なコーティング結果を保証します。