中古 AIXTRON 2600 G3 #9395959 を販売中

AIXTRON 2600 G3は、機能性材料の薄膜蒸着用に設計されたインライン化学蒸着（CVD）炉です。この原子炉には、革新的なサセプタジオメトリ、高度な温度制御、独立したガス流路が装備されており、最大のプロセス柔軟性と再現可能な結果を保証します。自動化されたマルチゾーン温度制御システムにより、多種多様な蒸着材料に最適な成長温度が保証されます。原子炉のサセプター形状は、20ナノメートルのテクノロジーノードで使用するための小さなフィーチャーサイズの製造に適しています。AIXTRON 2600G3は、プロセスの柔軟性と効率性を提供するモジュラー型のエンドツーエンド設計で設計されています。この原子炉は、リアクタントとキャリアガス濃度、入口温度、ガス位置の独立した制御を可能にするマルチゾーンガス流路設計を備えています。また、高品質の薄膜を堆積させ、均質なサイクリングで均一な温度プロファイルを実現するために、原子炉の自動化されたサセプター設計も最適化されています。2600 G3は、機能性材料の使用に多用途であり、酸化物、誘電体、窒化物、ポリマー、合金などの幅広い材料を処理するために装備されています。このエレガントなデザインは、高いスループットと低い所有コストを誇り、さまざまな構成で操作できます。さらに、CVDプロセスの自動制御と監視のためのユーザーフレンドリーなインターフェイスが装備されており、システムを特定のニーズに適応させることができます。2600G3は、ビデオ顕微鏡、EnduraPlus機能、オンライン予測サービスなど、さまざまな機能を備えています。この高度なシステムは、生産性を最大化し、可能な限り最高品質の薄膜蒸着を保証するように設計されています。AIXTRON 2600 G3は、最先端の技術製品の生産者が必要とする機能と仕様を備えた強力なCVD炉です。