中古 AIXTRON 2400G3 HT #9395960 を販売中

AIXTRON 2400G3 HTは、高効率、大面積、クローズドケージの化学蒸着（CVD）炉です。この原子炉は、金属、酸化物、窒化物などの幅広い材料を最大200mmの直径のウエハに堆積させるのに適しています。ロードロック開始チャンバ、プロセスチャンバー、ポストプロセスチャンバーなど、最適なリアクタ構成の柔軟性を実現する3チャンバ構成を備えています。主室には垂直蒸着工程ゾーンと、蒸着工程を監視するためのシャッター付きの直視式水晶リアクター窓があります。セラミックコーティングされたシャワーヘッドは、チャンバーの加熱された下部から伸び、プロセス開始とシャットダウンの間にリアクタントガスを分散させ、チャンバーをパージするために使用されます。リアクタントガスは、チャンバーの側面に位置する高純度のスリット型ガスインジェクタを介してプロセスに導入されます。AIXTRON 2400 G3-HTには、10°C〜600°Cの温度制御を提供する熱電冷暖房ユニットと、赤外線放射暖房システムの2つのハイテク温度制御システムが搭載されています。これは、より大きな加工可能なウェーハ径の半径全体にわたって均一な加熱と冷却を提供するために、ウェーハホルダーを回転させることができる内部機械制御システムと組み合わされています。この原子炉は、幅広いウエハサイズの柔軟な成長条件を提供する簡単な設置可能なインサートで、プロセスに柔軟性があります。これらのインサートは、熱膨張不一致の問題がある基板材料にも使用できます。さらに、RFおよびDC電源は、優れたプロセスと蒸着再現性を提供します。2400 G3 HTは安全性を考慮して設計されています。それは真空の下で信頼できる操作のための洗浄可能で、プロセス許容の出口シャフトを特色にします。ガスインジェクタは、汚染を防ぎ、メインチャンバーからのプロセスガスの脱出を最小限に抑えるように設計されています。また、静的結合と広範な接地が含まれており、粒子挙動を安全かつ効果的に制御できます。さらに、原子炉は、人間の安全を確保するためにチャンバーへのアクセスを制御するためにインターロックとPLCシステムを採用しています。全体として、AIXTRON 2400 G3 HTリアクターは、プロセス集約型アプリケーション向けの高度で信頼性の高いソリューションです。その大面積の構成は金属、酸化物および窒化物のためのウェーハの適用の広い範囲を可能にし、信頼できるプロセス監視および均一な暖房および冷却を提供します。さらに、2400G3 HTは安全性とプロセス制御を念頭に置いて設計されており、モーションディスラプタやRF電源などの高度な機能を提供します。