中古 AIXTRON 2400G3 HT #9292253 を販売中

AIXTRON 2400G3 HTは水平方向に構成された蒸着炉で、結晶成長用途向けに設計されています。この原子炉は、RF（無線周波数）プラズマを利用して、化学蒸着（CVD）プロセスのための低圧環境を作り出します。これは、蒸着反応の原料が制御されたフロー注入プロセスによって気体蒸気の形でチャンバーに供給されることを意味します。RFプラズマは、原子炉室内外にある電極から生成されます。このRFプラズマは、目的の材料の最適な成長のための条件を作成するガス源の材料をイオン化するために使用されます。AIXTRON 2400のG3-HTは高度のプロセス制御および温度調整の技術を組み込み、ユーザーが沈殿変数およびプロセス状態を精密に制御することを可能にします。原子炉の温度制御は、成長する材料に応じて最大900°Cに達するように設定することができます。この原子炉にはAIXTRON特許取得済みの高速スキャン機能が装備されており、ユーザーはプロセスパラメータを正確に校正し、成長プロセスを最適化することができます。2400 G3 HTはシングルウェーハリアクターであり、標準層（LOL）と最大ウェーハサイズは12インチです。リアクタントガスは、原子炉室上部の2つのオープンリングを介して蒸着ゾーンに注入され、バッフルによって均等に分布します。大容量で高いスループット能力を備えた2400 G3-HTは、成長プロセス全体にわたって一貫した均一な成膜を維持します。その卓越した技術的特徴に加えて、2400G3 HTにはいくつかの追加の安全機能があります。積層過温度制御システムが付属しており、堆積したフィルム材料の結合を防止することで基板の汚染を防ぐように設計されています。さらに、AIXTRON 2400 G3 HTは、原子炉室内に不活性ガス雰囲気を備えており、不要な堆積物の形成をさらに防ぎます。AIXTRON 2400G3 HTは、結晶成長に適した高度な蒸着炉です。それは最適な温度および圧力制御を提供し、ユーザーが基質を妥協しないで望ましい結果を達成するのを助ける複数の安全特徴が付属しています。AIXTRON 2400 G3-HTは優秀な均等性および構造完全性の高い純度の水晶を作り出すための完全な選択です。