中古 AIXTRON 2400G3 HT #9254485 を販売中

AIXTRON 2400G3 HTは、ディスプレイおよび電子デバイス用途の幅広い基板をコーティングするために使用される高温垂直eddy強化CVDリアクタです。この装置は、ホットウォールライナーとEK-Gasソースを備えた画期的な高温蒸着技術を利用しています。AIXTRON 2400 G3-HTは、サイドヒンジ付きドアを介してシステムへの容易なアクセスを可能にする単蓋設計を備えています。主な成分は、石英リアクタント注入器、反応室、基板加熱部、ガス排気部です。インジェクタは、プロセス温度を-10°Cから1250°Cまで変化させることができる反応室に原料ガスを供給します。ガス状反応剤が望ましい沈着化合物を形成すると、それらは温度制御された加熱セクションを介して基板に輸送されます。暖房部分は均一な熱配分を可能にします。排水管理・排出抑制のため、排気ポートには化学臭スクラバーを装備しています。2400 G3 HTは拡張性と柔軟性のために設計されており、幅広いアプリケーションのプロセス開発を可能にします。また、スケーラブルかつ低温の蒸着プロセスを可能にすることで、薄膜や大面積の蒸着をパルスと連続ガスの両方で行うことができます。2400 G3-HTには、安全ガスシャットオフ、爆発転換シャットオフ、マシンウイルスろ過機などの最高の安全と健康対策も装備されています。このツールは、窒素、アルゴン、酸素、およびその他の環境に優しいガスと互換性があり、幅広い堆積物に適しています。2400G3 HTは、高温蒸着ソリューションをお探しの方に最適なソリューションです。高度な技術と効率的なガス消費により、この資産はプロセスの開発と蒸着の成功に必要な信頼性と再現性の高い結果を提供します。