中古 AIXTRON 2400 G3 #9270057 を販売中

AIXTRON 2400 G3は、高度な材料研究と高品質の化合物半導体の生産のために設計された高性能エピタキシー炉です。AIXTRON 2400G3は、高出力、大容量、自己修復対称炉であり、III-V化合物、II-VI化合物、グラフェンなどの幅広い材料を処理することができます。2400 G3は、高性能エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、量子コンピューティング、太陽電池アプリケーションで使用される次世代の化合物半導体材料の研究および開発のためのユニークな機能の組み合わせを提供します。原子炉2400G3 6インチ（15 cm）の固体石英シャワーヘッドサセプタプラットフォームを備えており、最大6つの要素を選択できます。シャワーヘッドサセプターのセルは、同じインシデントフラックスプロファイルと熱的にバランスされており、大面積の基板にも成膜することができます。さらに、対称的な設計により、均一なドーピングが保証され、材料沈着率を最適化できます。直感的なソフトウェアにより、ユーザーは0。1nmの精度まで、プリセットプロセスパラメータを簡単に調整できます。AIXTRON 2400 G3リアクタには高性能マルチゾーンTMコントローラも搭載されており、最大5つの独立したプロセスゾーンを調整して、比類のないレベルのプロセス制御を行うことができます。AIXTRON 2400G3炉は、各ゾーンで異なるガスの流れ、温度、圧力、電流を調整する機能を備えており、すべてのプロセスパラメータを正確に制御し、最も複雑なプロセスフローを可能にします。2400 G3は、ユーザーの利便性を高めるために多くの高度な機能を備えています。これらには、基板の取り扱いを容易にするための自動マテリアルローダー、セル、真空システムおよび基板を保護するための組み込みの安全対策、多機能パワーユニット、効率的なシステム監視と操作のためのリモートアクセス、ツールパラメータの自動制御、および実行終了とプロセスレポートが含まれます。2400G3原子炉は、さまざまな用途に対応した高純度で欠陥のない材料を製造することができます。AIXTRON 2400 G3リアクターは、高度な化合物の研究と高品質の半導体材料の生産のための信頼性の高い、高性能のリアクターを探している人のための理想的な選択肢です。