中古 AIXTRON 2400 G3 #293700069 を販売中
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ID: 293700069
ヴィンテージ: 2001
MOCVD System
MKS 651C Reactor pressure PC Controller
EBARA A25S Dry pump
(9) MO Baths
Gases: N2, H2, PH3, AsH3, SiH4
Source MO:
(2) TMIn
(3) TMGa
(2) TMAl
(2) DeZn
Gas lines:
N2 Source line
H2 Line
(2) Lines for AsH3
(2) Lines for PH3
(2) Lines for SiH4
N2 Line for compensation of the hydride line
N2 Line for MO compensation
Materials based on GaAs and InP: InAs, GaInAs, GaInAsP, GaInP, AlGaAs, AlGaInP, GaAsP, GaInAsP + P or N doping with Zn or Si
(2) Screens
Keyboard
Mouse
Manuals included
Operating system: Windows 2000 Professional
2001 vintage.
AIXTRON 2400 G3は、主に半導体および材料研究アプリケーションで使用される先進的なシステム反応アーク蒸着電源です。これは3つのチャンバーアーキテクチャに基づいており、加工された材料特性を正確に制御することができます。AIXTRON 2400G3は、酸素大気中の対象物質を本質的に蒸発させ、それを基板に融合させる先進的なプラズマアーク蒸着技術を採用しています。結果は、構造、組成、厚さの面で合わせた特性を持つ材料の層です。この出力の拡張性により、2400 G3は高度な制御とカスタマイズが必要な研究アプリケーションに最適です。2400G3は3室の原子炉構造を提供し、2つの独立した駆動カソードと独立した地上設備を備えています。各カソードは独自のパラメータ群を介して独立して制御され、出力材料の所望の特性を正確に正確にすることができます。これらのパラメータの中には、基板温度、パワーレベル、システム圧力、イオン爆撃（スパッタリング）、ガスの流れ、マグネトロンサイズ、さらには基板の移動速度があります。また、様々な基板サイズにわたって幅広い材料を生成することが可能です。AIXTRON 2400 G3にはリアルタイムデータ収集ユニットが装備されており、沈殿プロセス中と沈殿後の両方のデータを収集することができます。この機械を利用することにより、ユーザーは、必要な正確な仕様を満たす客観的な結果を生み出すために、さらに材料パラメータを洗練することができます。最終的に、このデータ収集により、完全な堆積プロセスの分析が欠陥や不整合を発見することができ、ユーザーは状況を迅速に修正して実験を続けることができます。AIXTRON 2400G3は、沈着プロセスにおける前例のないレベルの制御を研究者に提供する強力で高度なツールです。独自のアーキテクチャと一連の設定により、さまざまな素材や基板サイズの拡張性が可能になり、ユーザーは出力を特別な程度に調整することができます。リアルタイムのデータ収集アセットを活用することで、研究者はさらにプロセスを洗練して結果を最適化することができます。これらの機能を組み合わせることで、2400 G3はあらゆる高度なラボ実験に不可欠なコンポーネントとなります。
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