中古 AIRCO TEMESCAL / FERROTECH FC 2800 #293807071 を販売中

AIRCO TEMESCAL / FERROTECH FC 2800
ID: 293807071
ウェーハサイズ: 6"
Deposition system, 6".
AIRCO TEMESCAL/FERROTECH FC 2800は、主に研究および産業用途における薄膜およびコーティングの成長に使用される高性能の薄膜蒸着装置です。このシステムは、蒸着プロセスを例外的に制御するように設計されており、高品質で均一な膜厚と組成が得られます。FERROTECH FC 2800リアクターは、精密なプロセス制御と再現性を可能にするさまざまな高度な機能を備えています。このユニットは、通常、真空チャンバ、ガス供給機、基板ホルダー、およびリアルタイムプロセス監視用のさまざまなセンサーおよびモニターで構成されています。AIRCO TEMESCAL FC 2800リアクターの主な特徴の1つは、高純度で汚染を最小限に抑えたフィルムの成膜を可能にする高真空能力です。このツールには、通常10^-6〜10^-8 Torrの範囲で、超高真空範囲で圧力を達成し維持できる高性能の真空ポンプ資産が装備されています。この低圧環境は、厚さと組成を正確に制御する高品質の薄膜の成長に不可欠です。FC 2800リアクターには、蒸着雰囲気の精密な制御を可能にする洗練されたガス供給モデルも装備されています。この装置は、幅広いプロセスガスに対応でき、スパッタリング、蒸着、化学蒸着など、さまざまな蒸着技術に使用できます。ガス流量、圧力、組成を高精度で制御し、堆積膜の特性を調整することができます。AIRCO TEMESCAL/FERROTECH FC 2800リアクターの基板ホルダーは、さまざまな基板サイズと形状に対応するように設計されており、小型サンプルから大型ウェハまでの基板に薄膜を堆積させることができます。ホルダーを加熱または冷却して、成膜中の基板の温度を制御することもできます。これは、フィルムの成長と接着を最適化するために重要です。FERROTECH FC 2800リアクターには、リアルタイムのプロセス監視と制御のためのさまざまなセンサーとモニターが装備されています。これには、チャンバー内部の圧力を測定し、ガス流量を監視し、堆積大気の組成を分析するためのツールが含まれます。このシステムには、リアルタイムでフィルムの成長を追跡し、所望の膜厚を確実に達成するためのin-situ厚さモニタも含まれています。全体として、AIRCO TEMESCAL FC 2800リアクターは、研究および産業環境における幅広い用途に適した汎用性と信頼性の高い薄膜蒸着ユニットです。その高度な機能と精密なプロセス制御機能により、特定の用途に合わせた特性を備えた先端材料およびコーティングの開発にとって貴重なツールとなります。
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