中古 AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200 #9360790 を販売中

AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200
製造業者
AGS PLASMA SYSTEMS
モデル
MPS-200
ID: 9360790
ウェーハサイズ: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8".
AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200は、さまざまなガスの特性を制御および操作するように設計されたプラズマベースの原子炉です。高精度な粒子やシングレット酸素を幅広く生産できる高性能リアクターで、様々な研究や産業用途に魅力的な選択肢となっています。MPS-200は実験室の使用のために適した低圧、中電力、直流(DC)の作動させた炉です。それは2つの独立した電源システム、アークの源および陽極の電源が装備されています;調節可能および別に。アーク電源電源は、最大200アンペアの交流電流(AC)を生成し、手動およびデジタル調整のための規定が含まれており、所望の動作条件を達成します。アノード電源は200ボルトと50アンペア(DC)まで設定でき、アノードとO原子の電流を調整するための調整が含まれています。AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200内部では、毎分最大12リットルのガス流量を持つ3段階の拡散ポンプを使用しています。最初の2段階は、飼料ガスが均一で均一な方法でシステムに入るように設計されています。第3段階は、原子炉の加圧を確実にするための高温加熱コイルで構成されています。加圧とガスの流れ全体の構成は、反応性材料と温度と圧力の両方の実験要件に基づいて調整することができます。MPS-200には、システムの設計と動作を制御するさまざまなプローブ、サンプラー、バッフル、クランプなどのアクセサリーが揃っています。また、揮発性の副産物を捕捉するためのコールドトラップと、熱品種を分離するための加熱ミラーが含まれています。これと並行して、AGSプラズマシステムズMPS-200は、サンプリングおよび分光解析のためのさまざまな接続タイプを受け入れるように設計されています。MPS-200のインストールと使用は簡単で、温度、圧力、および電力測定用のユーザーフレンドリーなコントロールとデジタルディスプレイを備えています。AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200には、リモート監視およびデータ収集用のシリアルポート、温度制限スイッチ、圧力制限スイッチ、過負荷保護スイッチなどの安全機能も備えています。全体的なMPS-200は強力で信頼性の高い実験炉であり、さまざまなガス処理作業において正確な制御と柔軟性をユーザーに提供します。システムの機能は、堅牢なアクセサリセットと高度な安全機能によってさらに補完され、AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200が発生する可能性のあるあらゆる課題に直面する準備ができていることを保証します。結論として、確立された研究や産業環境で持っていることは非常に貴重なツールです。
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