中古 VARIAN V 300HT #172136 を販売中
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ID: 172136
MacroTorr Turbomolecular Pump
Specifications:
Model Number: 9699037S003
Pumping Speeds:
N2: 250 l/s
He: 220 l/s
H2: 200 l/s
Compression Ratio:
N2: 2 x 108
He: 1 x 105
H2: 1 x 104
Base Pressure:
With Recommended Mechanical Forepump: 2 x 10-10 (1.5 x 10-10 Torr)
With Recommended Diaphragm Pump: 2 x 10-8 (1.5 x 10-8 Torr)
Inlet Flange: DN 100 ISO
Foreline Flange: NW25 KF
Rotational Speed: 56,000 RPM
Startup Time: < 3 min.
Minimum Recommended Forepump:
Two-Stage Rotary Pump: SD 300
Diaphragm Pump: MD 60
Operation Position: Any
Cooling Requirements: Forced Air, Water Optional
Bakeout Temperature: 120°C at inlet flange (for CFF version)
Vibration Level (displacement): < 0.01 µm at inlet flange.
VARIAN V 300HTは、550°C (1020°F)までの温度で動作するように設計された高温直接駆動真空ポンプです。最小限の部品があり、非常に信頼性が高く効率的です。その2段24ブレードのモーター駆動ロータは強力な真空を作り出し、5×10-4 Torrの圧力に達することができます。これにより、VARIAN V300HTは、高温および/または超高真空を必要とするプロセスに最適です。さらに、ポンプはオイル量が少なく、廃棄物の削減とメンテナンスコストの削減が可能です。V 300HTは、高温動作用に構築されており、絶縁設備や高度なオイルレベル管理システムなどの機能を備えています。絶縁材はポンプ温度を点検の保ち、オイルレベルの管理単位はポンプの寿命を拡張する最適化されたレベルの潤滑を提供します。さらに、ポンプには逆流チェックバルブがあり、真空機械に汚染物質が侵入するのを防ぐのに役立ちます。V300HTには、パフォーマンスを向上させるために追加できるさまざまなアクセサリーもあります。例えば、高熱プロセスで圧力を測定するために統合された真空ゲージを取り付けることができます。最後に、高温可燃性ガス出血ツールは、排気を通して可燃性ガスを日常的に出血させ、ユーザーの安全性をさらに確保します。結論として、VARIAN V 300HTは堅牢で信頼性が高く効率的な高温真空ポンプであり、最大550°C (1020°F)の温度で超高真空を達成することができます。それは安全な操作および長期信頼性を保障する高度の特徴を提供する高熱処理のためにとりわけ設計されていました。さらに、そのアクセサリーは、ユーザーが特定のプロセス要件にポンプをカスタマイズすることができます。
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