中古 VARIAN DS 602 #110124 を販売中

VARIAN DS 602は半導体および関連産業で使用するために設計されているダイヤフラムポンプです。このポンプは、薄膜やその他の高度な半導体プロセスの超高真空蒸着などの用途に最適です。このポンプは、動作中に非常に信頼性が高く非常に静かでありながら、低い圧力で高いポンプ速度を提供するように設計されています。VARIAN DS602は、ドライクロースタイルの多段真空ポンプで、ドライランニング非回転リニアモーションシールを備えています。設計は、最大の耐久性と性能を確保するために、頑丈で十分に密封されたハウジングに、独自のメカニカルシールを備えたベアリングのフルセットを組み込んでいます。完全に囲まれたハウジングは、汚染を防ぎ、音量を最小限に抑えるのにも役立ちます。DS-602には、低真空レベルで安定した十分に制御された圧力を提供する独自のロータ設計が含まれているため、半導体アプリケーションでのスループットを最適化するのに最適です。さらに、真空圧力やその他の動作パラメータを簡単に制御できる業界標準のコントロールも多数用意されています。このポンプは、50/60 Hzの周波数範囲を持つ強力なAC同期モータによって駆動され、低周波で最大トルクを提供するように設計されています。この機能により、VARIAN DS-602はより高い圧力と温度で信頼性の高い動作を提供することができます。また、振動やノイズレベルを低減するように設計されているため、敏感な半導体アプリケーションでの使用に最適です。DS602は、潜在的なスループットを最大化するために使用されるすべての圧縮空気の95％で、非常に効率的な動作を提供するように設計されています。さらに、ポンプには一組の吸気フィルターと排気フィルターが装備されており、粒子の汚染を低減し、効率を高めるのに役立ちます。付属の安全インターロックは、装置のパラメータ内で動作を維持するのに役立ち、追加の安全対策として、低圧および温度範囲での動作には、圧力解放バルブとブロワーが利用可能です。全体的に、DS 602は、信頼性の高い低圧および高いポンピング速度性能を必要とするアプリケーション向けの優れたソリューションです。追加のボーナスとして、その設計は、ポンプが動的にほぼノイズのない動作を維持することを保証し、それは敏感な半導体関連のアプリケーションの範囲に最適です。