中古 ULVAC LR90 #9287394 を販売中

ULVAC LR90は、究極の真空アプリケーション用に設計されたロータリーベーン機械式真空ポンプで、最大0。005 torr （5 x 10-4 mbarA）の真空レベルを達成することができます。ダイレクトドライブモーター、内部部品の強制潤滑、アンモニア漏れ率を最小限に抑える最適なシーリング対策を備えています。高度なオイル回収システムと汚染物質管理を組み合わせた高い究極の真空は、半導体加工に最適です。LR90には、エネルギー効率に優れた超音波ダイレクトドライブモーターが含まれており、長期的で連続的なデューティ動作を実現します。また、真空チャンバーからオイルを回収し、ポンプの連続潤滑を保証するために使用することで効率を高める高度なオイル回収装置を備えています。その高度な汚染物質管理システムは、運用コストを削減するために、2段階のオイルセパレータを備えています。ULVAC LR90は、アンモニアの漏れ率を最小限に抑える最適なシーリング測定を備えています。これは、クリーン窒素および/または酸素を備えたときに500のシーリング係数を達成するための二重作用のOリングのシールが含まれています。特別な換気装置は1。0 x 10-8 mbarAにアンモニアの漏出率を減らし、残りのガス汚染を減らします。LR90は容易な維持および取り替えのために設計されています。ポンプは分解なしで使用することができ、その堅牢な構造により、最大50,000時間の連続運転が可能です。また、幅広い動作温度を有しており、様々な環境での使用が可能です。さらに、ULVAC LR90には、ポンプの性能に関するリアルタイム情報を提供する統合監視マシンがあります。また、異常動作時にポンプをシャットダウンする保護モード機能も備えています。内蔵の温度および差動圧力インジケータは、オペレータに問題を警告します。LR90は最終的な真空の適用のために設計されている高度の回転式ベーンの機械真空ポンプです。エネルギー効率に優れたダイレクトドライブモーター、高度なオイル回収システム、アンモニア漏れ率を最小限に抑える最適なシーリング測定機能を備えています。その統合された監視ツールと保護モード機能は、リアルタイムの情報を提供し、あらゆる問題をオペレータに警告します。堅牢な構造、長期動作、幅広い動作温度を備えたULVAC LR90は、半導体加工に最適です。