中古 ULVAC GHD-031A #293795428 を販売中

ULVAC GHD-031Aは、さまざまな産業用途における高効率と信頼性で知られている動的乾式真空ポンプです。このポンプは、半導体、フラットパネルディスプレイ（FPD）、および高真空性能を必要とするその他の高度な製造プロセスの厳しい要件を満たすように設計されたULVAC GHDシリーズの一部です。GHD-031Aの中心には、ガスや蒸気の効率的なポンピングを提供する多段式ドライスクリュー機構があります。この機構は、複数の回転スクリューロータで構成されており、ガス圧縮およびポンプ用の密閉キャビティを作成するためにインターメッシュします。ドライスクリュー設計により、油の潤滑が不要になり、ポンプを清潔でメンテナンスフリーにしながら、半導体製造などの敏感なプロセスにとって汚染のない真空環境を確保します。ULVAC GHD-031Aの主な特徴の1つは、その高いポンプ速度と究極の圧力性能です。最大120 m3/hのポンプ速度と<10^-3 mbarの究極の圧力で、このポンプはすぐにチャンバーを避難させ、効率的な処理に不可欠な高真空レベルを維持することができます。このポンプの高性能は、高度なスクリュー設計と最適化されたシーリング技術により、漏れを最小限に抑え、ガス圧縮効率を最大限に高めています。GHD-031Aにはモーターと駆動システムが内蔵されており、真空ポンプ用のコンパクトで統合されたソリューションを提供します。このモータは高速動作用に設計されており、チャンバーからガス分子を迅速に避難させることができます。ドライブシステムは、スクリューロータのスムーズで信頼性の高い回転を保証し、動作中の振動とノイズレベルを低減し、ポンプの全体的な性能と寿命を向上させます。操作の柔軟性の観点から、ULVAC GHD-031Aは幅広い動作圧力範囲を提供し、さまざまなプロセス条件に効果的に対応できます。このポンプは、大気圧から高真空レベルまでの圧力で動作し、さまざまなアプリケーションでさまざまな真空要件に対応できます。さらに、このポンプには、速度変調機能や監視機能などの高度な制御機能が装備されており、特定のプロセス要求に基づいてパフォーマンスとエネルギー効率を最適化します。GHD-031Aには、ポンプと接続された真空システムを潜在的な損傷から保護するための高度な安全機能も組み込まれています。これらの安全機能には、過電流および過熱保護、および運用上の故障を防止するための自動故障検出およびシャットダウン機構が含まれます。さらに、ポンプは、アクセス可能なサービスポイントと監視とトラブルシューティングのためのユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた、インストールとメンテナンスが簡単に行えるように設計されています。全体として、ULVAC GHD-031Aは、優れたポンプ速度、究極の圧力、および要求の厳しい産業用途向けの運用柔軟性を提供する高性能の動的乾燥真空ポンプです。革新的な設計、効率的な操作、高度な機能を備えたこのポンプは、半導体製造、FPD製造、および信頼性と汚染のない真空ポンピングソリューションを必要とするその他の重要なプロセスに最適です。