中古 ULVAC EC603 #9287383 を販売中

ULVAC EC603は、高真空および高性能アプリケーション用に設計されたロータリーベーンポンプです。EC603は、他の同様のポンプよりもスムーズで静かな操作と効率的な操作を提供するために、特別な3ベーン技術を利用しています。このポンプは、追加のハードウェアなしで10-6 Torr範囲で究極の真空に到達することができます。ULVAC EC603のロータリーベーン技術は、偏心ローターの湾曲したスロットで設定された異なる長さのベーンのセットを使用して、入口からガス分子を引き込むための圧縮キャビティを形成する正の変位ポンプの一種です。その後、ローターの動きによってキャビティサイズが小さくなり、出口ポートで放出されるため、ガス分子は圧縮されます。圧縮キャビティのサイズとロータの速度は、幅広い用途で効率を高めるために調整可能です。このポンプはまた、干渉のない連続的な流れを可能にする特別な二重濾過材料を利用した高度なオイルミスト濾過システムを備えています。オイルミストフィルトレーションシステムは、汚染されたオイルが真空チャンバーに入るのを防ぎ、全体的なメンテナンス要件を最小限に抑えるのに役立ちます。EC603の静かな動作は、振動を吸収し、環境へのノイズの伝達を低減する改良された軸受構造によって保証されます。最後に、ULVAC EC603は真空レベルを監視する効果的で信頼性の高い方法であるコールド陰極イオン化ゲージを備えています。コールド陰極ゲージは、低真空レベルを識別するように設計されてEC603、動作範囲全体にわたって優れた応答を提供する外部ゲージングポートが装備されています。ULVAC EC603は、究極の真空と効率的な操作の高レベルに達することができる信頼性と効率的なロータリーベーンポンプです。その3ベーン技術、コールドカソードのイオン化ゲージ、および高度なオイルミストフィルトレーションシステムが組み合わされ、幅広い高真空アプリケーションに有益なソリューションを提供します。