中古 ULVAC EC403 #293770412 を販売中
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ULVAC EC403は、最大1 x 10-9 mbarの高真空条件を作成するように設計された陽極ベーク真空ポンプです。ポンプは10。6 m3h-1のポンピングレートを提供する回転式ベーン型のメカニズムを特色にし、非常に短い時間で望ましい最終的な真空レベルに達することができます。ポンプは、フロントエンドと2つのポンピングステージを備えた3段階の設計で、極端なシステムの迅速な避難を可能にします。フロントエンドは、入力ポート、排気ポート、メカニカルブースターポンプを採用しています。このブースターポンプは高い周囲圧力を作り出し、第1段と第2段のポンプは単一の段階とより速く部屋を避難させることを可能にします。ポンプの最初の段階は根タイプの機械ブースターです。この根の送風機は電気機械モーターによって運転され、それは回転子の刃の圧力を高めます。3ローブのロータを備えており、より高い効率を実現し、すべての動作ポイントで一定の流れを維持します。ポンプの第2段階は回転式ベーン型ピストンポンプです。潤滑ベーン表面を維持するために、グリース潤滑付きの2段ベアリングシステムが採用されています。これにより、ベーンは高速で動作し、長時間シールされたままになります。ポンプはまたポンプ室に入ることから汚染物を防ぐ改良された塵フィルターを特色にします。運転中のエネルギー効率を最適化するために、EC403は回転式ベーン型コンプレッサーとターボ分子ポンプを備えています。これらの両方がポンプの効率を高め、より少ないエネルギーを消費するのに役立ちます。ULVAC EC403は、高度で高品質の陽極ベーク真空ポンプです。ルーツ式メカニカルブースター、ロータリーベーン式ピストンポンプ、ロータリーベーン式コンプレッサーを備えた3段デザインです。それに10。6 m3h-1のポンプ率があり、1 x 10-9 mbarまでの究極の真空レベルに達することができます。このポンプはターボ分子ポンプと改良されたダストフィルターを備えており、動作中の最適なエネルギー効率を保証します。
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