中古 ULVAC DAL-10S #9110366 を販売中

ULVAC DAL-10Sは、非常に高い強度と性能を備えたドライメカニカルポンプです。このポンプは、RIE （Reactive Ion Etching）、 CVD （Chemical Vapor Deposition）、 MBE （Molecular Beam Epitaxy）などのプラズマプロセスの最も要求の厳しい要件を満たすように設計されています。DAL-10Sは、軸受潤滑とピストン/プランジャーメカニズムからなる2段階圧縮を備えたラジアルタイプのドライメカニカルポンプです。特殊設計の円筒形ロータを採用し、究極の圧力でも効率的な運転が可能です。このロータは耐性に優れたステンレス製で、ドライブシャフトに直接接続されているため、低振動です。2段圧縮方式は、内側シリンダのピストンと外側シリンダのバルブを使用しています。ピストンとバルブは、プロセスチャンバーに直接転送される内部シリンダーに真空を作成します。内部シリンダーは、その全長に沿ってポンプで送られたガスの均一な流れを確保するために、その直径に沿って湾曲したベーンの数を持っています。ULVAC DAL-10Sポンプは、25 m3/h （900 l/min）の最大公称ポンプ速度（NPS）を備えた高い流量能力を備えています。インラインろ過および粒子除去は0。3 μ mの小さい粒子および塵を取除くことができるよく設計されたステンレス鋼のこし器によって提供されます。ポンプは全溶接ステンレス製ハウジングに囲まれており、オイルレベルインジケータ、オイルドレインポート、ドレンバルブが付属しています。それは0ºCから45ºCまで温度で作動でき、騒音レベルは65 dBAより低いです。利便性のために、DAL-10Sには視覚圧力計と圧力インジケータパネルが用意されています。ULVAC DAL-10Sは、多くのプラズマプロセスに最適な信頼性と長寿命のドライメカニカルポンプです。その低振動、低メンテナンス設計は、トラブルのない操作と最大の効率を保証します。優れた流量と濾過能力を備えたこのポンプは、優れた品質の真空を必要とするあらゆるプロセスに最適です。